MEGA SA100™

Mega SA100自动滴定和补给系统(ATRS)用于控制混合物中某特定物质的含量。例如,此系统通常用于编程控制浆料中H2O2的百分比。混合物中此物质的含量随时间逐渐减少,因此必须严格监控,必要时提供补给。

系统按照可编程的配料方案执行抽样和补充。这些配料方案包括延迟步骤、清洗线路的吹扫、样本提取和成分补充。

通过ATRS可获取量化的化学品浓度。混合物中的化学成分通过全面在线监测加以分析,一旦发生消耗即提供补给,实现混合物的成分控制,从而维持适当的浓度。

如果知晓某工艺成分的精确剂量,有助于增加产品产量。对于可能影响产品质量的变量,系统能够及时检测,并在出现影响前迅速补救。

已验证的可靠性:可用性高达99.9%,MTBF(平均故障间隔时间)>5000个小时
兼容Semi S2(《半导体制造设备的安全指南》)
从多源流(包括化学品原料供应)中取样并进行分析
提高工艺再现性和均匀性
提升对工艺的了解
防止批量损失
通过主板控制的多个试剂,分析化学品浓度的高低
可配置由主板控制的批量/工具补给系统(输入值为分析仪结果)