Metrology

Mega SA100™

Mega SA100自动滴定和补给系统(ATRS)用于控制混合物中某特定物质的含量。例如,此系统通常用于编程控制浆料中H2O2的百分比。混合物中此物质的含量随时间逐渐减少,因此必须严格监控,必要时提供补给。

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Mega SA200™

A20系列颗粒分析系统(包括PMS 5200和PCMB)用于分析固定或移动式颗粒粒径和/或分布。系统包括稀释率控制和冲洗装置,用于维持正常运行和精确度。冲洗功能支持去离子水或化学品冲洗介质。系统配置可能包含单个或双个激光传感器。可以配置固定系统,以输出到专用PC或SBD工具内的集成IPC。

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Mega SA300™

SA300 PCMB采用红外、折射、超声波等技术实时测量化学品浓度。这些技术不会对样品形成干扰,所以可将设备安置在供应的主要工艺线路上,即使配备化学品加工工具回路,也不会损坏液体的状态或化学特性。此类在线化学品浓度系统同样适用于气流分析。单台分析仪能够分析多个分析点,有助于节约使用成本。