快排快冲槽

Microkleen™快排快冲槽

基本信息

MICROKLEEN™快排快冲槽装备有可调节的顶部喷淋轨、底部外侧填充轨以及较大的卸料门。此类功能使快排快冲槽能以更快的速度充满,数秒内排空,用水更少。四边的溢流挡板有助于破坏液面张力,清除来自工艺区域的微粒。QDR(快排快冲槽)可现场改装,几乎无需(或很少)改动现有的层面或管道设置。快排快冲槽还可与大多数QDR控制器使用。

功能

  • 顶部可调的喷淋轨和底部外侧的填充轨。
  • 标准360°四面层叠式内挡板。
  • 单或双卸料门
  • 兼容热去离子水
  • 可与大多数现有的快冲槽控制装置合用
  • 槽体使用聚丙烯、聚偏氟乙烯或特氟隆制造。
  • 可容纳从75毫米到300毫米的晶圆(尺寸可定制)
  • 氟橡胶标准O型密封圈(可应要求使用其它材料)
  • 完全可编程的微处理器控制器,可设定多种冲洗组合。

选配件

  • 氮气入轨
  • 电阻率监控
  • 可回收废水的双卸料门
  • 尺寸或结构可定制,具体与工厂协商。
  • QDR可装配或不装配控制器。
  • 液位传感器

产品特色

  • 快速排出废水、残留酸和微粒。
  • QDR兼容某些选定流程使用热去离子水。
  • 通过可调的喷淋轨和试问外侧的填充轨,晶圆可得到彻底的清洗。
  • 可现场改装

MPC-301微处理机控制器

MPC-301是一种小型的独立单元,可提供多种倾倒和分级水槽选择。四个单独的LED指示目前的系统状态。控制器可按时间、液位和电阻率操作,以便满足您的工艺需要。