Kinetics SD 100

系统概述

Kinetics公司的SD 100浆料分配系统是一种可靠、可配置的系统,专为重要的浆料和化学机械抛光工艺应用而设计。该系统可容纳单个或两个源容器,可将预混的浆料分配给化学机械抛光工具,或分配给选配的日用罐。日用罐可容纳多个供应桶,以确保不间断地将浆料分配给晶圆厂。浆料通过膜式泵或磁悬浮离心泵分配给晶圆厂的使用场所。使用源和分配回路循环来防止浆料物质的沉淀。可选配传输和分配过滤器,以去除较大的浆料结块。可选配自动过滤器清洗–净化模块,以确保浆料的无缝传输。系统的设计可最大程度减少死角,并使用了久经验证的高性能组件来工作于严酷的浆料环境。用户定义的顺序,确保系统的清洁,将浆料保持在最佳的工艺性能。

控制装置

  • Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
  • Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏,可显示:
    • 系统P&ID状态
    • 报警和警告界面
    • 分配阀箱状态
    • 泵和过滤器运行界面
    • 有密码保护的维护界面
    • 手动开启阀门和泵
  • 可连接到工厂控制系统

选配件

  • 用于源桶和日用罐的搅拌装置

  • 用于浆料分配的磁悬浮离心泵

  • 单个传输过滤器

  • 单或双级分配过滤器,带有冗余的过滤器路径

  • 用于分配过滤器的自动去离子水和氮气维护

  • 用户定义的冲洗/净化顺序

  • 日用罐–200、500或1000 L

  • 分布回路的自动背压控制

  • 源桶箱(单桶或双桶)

  • 日用罐箱,最大可达500 L

  • 内部浆料取样阀

  • 条码读取器

主要功能

  • 单或双浆料源容器,通常为200升的桶

  • 每分钟5到20升的分配速率

  • 可靠的膜式泵运作

  • 冗余泵送模块,保持可靠性

  • 传输和晶圆厂回路循环,防止浆料沉淀。

  • <用于源容器和日用罐覆盖的潮湿氮气

  • 聚乙烯和聚丙烯结构材料

  • 聚丙烯柜

安全功能

  • 隔开的泵间,用于在线维护

  • 本地和远程EMO(紧急按钮)

  • 柜泄露检测和门联锁

  • 声音和视觉警告和报警

  • 可选配排放和高流量传感器

工艺流程图

上图显示了两个源桶、日用罐、传输和分配过滤器,以及桶/罐搅拌器

可靠性

  • MTBF>4500小时¹

  • MTBF>2500小时¹

  • MTTR<2小时

  • 可用度>99.9%

¹更换过滤器不属于系统停机时间或修理时间。