系统概述
Kinetics公司的SD 100浆料分配系统是一种可靠、可配置的系统，专为重要的浆料和化学机械抛光工艺应用而设计。该系统可容纳单个或两个源容器，可将预混的浆料分配给化学机械抛光工具，或分配给选配的日用罐。日用罐可容纳多个供应桶，以确保不间断地将浆料分配给晶圆厂。浆料通过膜式泵或磁悬浮离心泵分配给晶圆厂的使用场所。使用源和分配回路循环来防止浆料物质的沉淀。可选配传输和分配过滤器，以去除较大的浆料结块。可选配自动过滤器清洗–净化模块，以确保浆料的无缝传输。系统的设计可最大程度减少死角，并使用了久经验证的高性能组件来工作于严酷的浆料环境。用户定义的顺序，确保系统的清洁，将浆料保持在最佳的工艺性能。
控制装置
- Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
- Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏，可显示：
- 系统P&ID状态
- 报警和警告界面
- 分配阀箱状态
- 泵和过滤器运行界面
- 有密码保护的维护界面
- 手动开启阀门和泵
- 可连接到工厂控制系统
选配件
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用于源桶和日用罐的搅拌装置
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用于浆料分配的磁悬浮离心泵
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单个传输过滤器
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单或双级分配过滤器，带有冗余的过滤器路径
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用于分配过滤器的自动去离子水和氮气维护
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用户定义的冲洗/净化顺序
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日用罐–200、500或1000 L
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分布回路的自动背压控制
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源桶箱（单桶或双桶）
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日用罐箱，最大可达500 L
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内部浆料取样阀
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条码读取器
主要功能
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单或双浆料源容器，通常为200升的桶
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每分钟5到20升的分配速率
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可靠的膜式泵运作
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冗余泵送模块，保持可靠性
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传输和晶圆厂回路循环，防止浆料沉淀。
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<用于源容器和日用罐覆盖的潮湿氮气
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聚乙烯和聚丙烯结构材料
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聚丙烯柜
安全功能
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隔开的泵间，用于在线维护
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本地和远程EMO（紧急按钮）
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柜泄露检测和门联锁
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声音和视觉警告和报警
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可选配排放和高流量传感器
工艺流程图
上图显示了两个源桶、日用罐、传输和分配过滤器，以及桶/罐搅拌器
可靠性
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MTBF＞4500小时¹
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MTBF＞2500小时¹
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MTTR＜2小时
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可用度＞99.9%