Kinetics GC 100

系统概述

Kinetics公司的GC 100手动气瓶柜是一种低成本、操作简便的气体分配系统,为半导体和光伏制造业中安全分配有毒和危险气体提供了一种密闭排气罩设备。这种简单的气瓶柜主要适用于单一成分的易燃和非腐蚀性气体(例如O2、H2、CH4),配备一个自动气体关闭阀,可在气体泄露或出现紧急情况时自动关闭。该款气瓶柜有单瓶、双瓶和三瓶配置可选。如果使用双瓶配置(两个瓶中装有同样的气体),当一个气瓶的压力下降到低水平时,可自动切换。该系统有一个非常简单的电子控制器,当气瓶空了的时候,控制器可亮起一个简单的指示灯,控制器还可在出现紧急情况时关闭系统。

控制装置

Kinetics GC 100手动气瓶柜带有一个简单的PLC控制器,用于:

  • 紧急情况时关闭气流
  • 对排气管道中的气体泄露做出反应
  • 当气瓶空了的时候亮起指示灯

选配件

  • 双级调节器,用于不同的压力出口(两个气瓶)
  • 调节器高压端的模拟仪表,当气瓶空了的时候通过电接触点指示。连接到外部的建筑物自动化系统(每个气瓶一个连接)
  • 高压端的模拟仪表,空瓶指示。包括简单的控制器,带“空瓶”灯(每个气瓶一个)
  • 更换气瓶用的吹扫气连接(每个气瓶一个)
  • 气瓶刻度,用来判断液化气瓶是否已空(每个气瓶一个)

主要功能

  • 自动气体关闭阀,用于紧急情况时
  • 可容纳一、二或三个气瓶
  • 使用两个气瓶时的机械式切换
  • 手动向排气管道排气
  • 模块化结构,易于维护

安全功能

所有的Kinetics气瓶柜均符合以下机构的准则:

  • 统一消防规范(UFC80)和美国消防协会(NFPA 318)
  • Semi(半导体设备材料产业协会)S2-0200
  • NRTL(国家认可实验室)名单

工艺流程图

图中显示的是双气瓶操作,自动气瓶切换

可靠性¹

  • 可用度>99.999%
  • MTBF>8000小时
  • MTBF>6000小时
  • MTTR<2小时

¹可靠性值是典型性能指标之一。