气体分配系统

Kinetics气体分配系统适用于微电子和太阳能制造设施,服务客户群遍布全球。该系统可将各种面板、机柜和控制器配置到工程系统中,以满足客户特定的需求。可根据具体的工艺气体和工厂操作要求,系统具有手动、半自动或全自动三种操作模式。

我们的气体分配产品在200~300毫米晶圆制造以及薄膜和硅基光伏制造方面的优越性能已得到可靠证实。我们还设计和制造了不同类型的气体净化和液气分配系统,用于定制生产操作。Kinetics所有的气体系统均严格按照质量标准设计和制造,通常情况下,超过99.999%的时间可实现正常运行。

我们的高性能气体控制产品包括: