Kinetics CB 200

控制装置

• Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
• Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏，可显示：
  • 系统P&ID状态
  • 报警和警告界面
  • 混合和冲洗处理程序、校准界面（有密码保护）
  • 分配阀箱状态
  • 维护界面（有密码保护）
• 可连接到工厂控制系统

选配件

• 基于流量计的混合模块

• 替代计量包——自动滴定、折射率或音速

• 装混合罐的柜，最大容量为500升

• 泵冲程和泄露检测

• 日用罐中的雷达液位传感器

• 取样间

主要功能

• 总混合容量为9000、12,000或15,000升

• 高精度负荷传感器，用于精确混合负荷传感器

• 用户选择的混合配方

• 绝对混合精度为0.1、0.01或0.003重量百分数，取决于具体配置

• 包括去离子水在内，最多三（3）种化学成分

• 双电池电导率监控仪

• 膜式或离心式混合循环泵

• 聚丙烯柜材料

• 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务。去离子水喷枪

安全功能s

• 隔离的电和化学箱

• 本地和远程EMO（紧急按钮）

• 柜泄露检测和门联锁

• 声音和视觉警告和报警

• 门上有透明的监视窗

工艺流程图

上图显示的是两个基于重量的混合罐、在线计量和单个日用罐

可靠性

• MTBF＞4500小时

• MTBF＞2500小时

• MTTR＜2小时

• 可用度＞99.9%

控制装置

• Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的PLC
• 简单、按键式系统控制
• 可选Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏，可显示：
  • 系统P&ID状态
  • 报警和警告界面
  • 分配阀箱状态
  • 泵和过滤器运行界面
  • 有密码保护的维护界面
  • 手动开启阀门和泵
  • 可连接到工厂控制系统

选配件

• 用作冗余的后备泵
• 压力缓冲器，用于提高过滤器的性能
• 化学品过滤器外壳（10英寸或20英寸），带循环
• 日用罐，用于缓冲存储容量
• 日用罐循环，保证低颗粒水平
• 晶圆厂范围的循环
• 源桶和日用罐用的箱（最大可达500L）
• 最多达3个化学品出口阀
• 额外的日用罐管口，以便大量进料
• 泵冲程测量和泄露检测
• 条码读取器

主要功能

• 流量可设置为每分钟15、30和50升
• 使用组合阀，以便减少占地面积
• 聚乙烯/聚丙烯或含氟聚合物材料，取决于具体的化学品和纯度需要
• 聚丙烯箱，可防酸和苛性碱
• 用于溶剂的不锈钢箱
• 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务
• 去离子水喷枪

安全功能

• 隔离的电和化学箱
• 本地和远程EMO（紧急按钮）
• 箱泄露检测
• 箱门联锁
• 声音和视觉警告和报警
• 门上有透明的监视窗
• 可选配排放和高流量传感器

工艺流程图