Kinetics CB 200

系统概述

Kinetics化学品混合系统可谓是混合精度和容量的理想组合,足以满足各种工艺和生产效率需要。Kinetics CB 200采用的是久经证明的基于重量的混合技术,是一种高容量混合和分配系统,其最大混合能力为15,000升/天。装载到各负荷传感器上安装的混合罐中的化学成分的质量由混合算法控制。可选基于流量的混合模块,使用这种模块,每种化学品按照时间以预先确定的流速导入混合罐。化学品混合物由泵推动循环,达到彻底混合,并由电导率监测回路进行监测。测出的电导率不断与预先确定的电导率设定值相比较,该设定值按照化学品浓度校准。混合罐促使混合物不断循环,直至达到期望的浓度。CB 200系统由两个(2)混合罐和一个或两个日用罐组成,它能在一个混合罐中不断地混合化学品,同时将合格的混合物传输给日用罐。可配合化学品混合系统使用Kinetics CD 100或CD 200分配系统,以便将混合后的化学物质传输给晶圆厂。

控制装置

  • Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
  • Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏,可显示:
    • 系统P&ID状态
    • 报警和警告界面
    • 混合和冲洗处理程序、校准界面(有密码保护)
    • 分配阀箱状态
    • 维护界面(有密码保护)
  • 可连接到工厂控制系统

选配件

  • 基于流量计的混合模块

  • 替代计量包——自动滴定、折射率或音速

  • 装混合罐的柜,最大容量为500升

  • 泵冲程和泄露检测

  • 日用罐中的雷达液位传感器

  • 取样间

主要功能

  • 总混合容量为9000、12,000或15,000升

  • 高精度负荷传感器,用于精确混合负荷传感器

  • 用户选择的混合配方

  • 绝对混合精度为0.1、0.01或0.003重量百分数,取决于具体配置

  • 包括去离子水在内,最多三(3)种化学成分

  • 双电池电导率监控仪

  • 膜式或离心式混合循环泵

  • 聚丙烯柜材料

  • 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务。去离子水喷枪

安全功能s

  • 隔离的电和化学箱

  • 本地和远程EMO(紧急按钮)

  • 柜泄露检测和门联锁

  • 声音和视觉警告和报警

  • 门上有透明的监视窗

工艺流程图

上图显示的是两个基于重量的混合罐、在线计量和单个日用罐

可靠性

  • MTBF>4500小时

  • MTBF>2500小时

  • MTTR<2小时

  • 可用度>99.9%

系统概述

Kinetics CD 100化学品分配系统是一种简单、低成本的化学品传输或分配设备。该设备能将液态化学品从桶或吨桶源容器泵送出来,并分配给工厂的各种湿式工艺工具。该设备具有可配置这一优点,能提供特定的流量和纯度水平,来符合您的工具和工艺需求。

控制装置

  • Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的PLC
  • 简单、按键式系统控制
  • 可选Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏,可显示:
    • 系统P&ID状态
    • 报警和警告界面
    • 分配阀箱状态
    • 泵和过滤器运行界面
    • 有密码保护的维护界面
    • 手动开启阀门和泵
    • 可连接到工厂控制系统

选配件

  • 用作冗余的后备泵
  • 压力缓冲器,用于提高过滤器的性能
  • 化学品过滤器外壳(10英寸或20英寸),带循环
  • 日用罐,用于缓冲存储容量
  • 日用罐循环,保证低颗粒水平
  • 晶圆厂范围的循环
  • 源桶和日用罐用的箱(最大可达500L)
  • 最多达3个化学品出口阀
  • 额外的日用罐管口,以便大量进料
  • 泵冲程测量和泄露检测
  • 条码读取器

主要功能

  • 流量可设置为每分钟15、30和50升
  • 使用组合阀,以便减少占地面积
  • 聚乙烯/聚丙烯或含氟聚合物材料,取决于具体的化学品和纯度需要
  • 聚丙烯箱,可防酸和苛性碱
  • 用于溶剂的不锈钢箱
  • 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务
  • 去离子水喷枪

安全功能

  • 隔离的电和化学箱
  • 本地和远程EMO(紧急按钮)
  • 箱泄露检测
  • 箱门联锁
  • 声音和视觉警告和报警
  • 门上有透明的监视窗
  • 可选配排放和高流量传感器

工艺流程图

上图显示的是源桶、单个泵和单个过滤器

上图显示的是吨桶、冗余泵、日用罐、并联过滤器

可靠性

  • MTBF>4500小时
  • MTBF>2500小时
  • MTTR<2小时
  • 可用度>99.9%