化学混合产品

Kinetics化学品混合系统可谓是混合精度和容量的理想组合,足以满足工厂的各种工艺和生产效率需要。该系统采用经认证的基于重量的化学混合技术,可实现最高精度水平的化学混合工艺。基于流量的可选混合模块适用于需要高补充率和较低精度水平的化学混合工艺技术。可根据具体容量和使用要求选择各种混合罐和日用罐的尺寸和配置。基于丰富的化学工艺经验,Kinetics提供多种型号的化学计量仪器,以满足您的特定工艺要求。

该系统配备高性能混合罐,可将合格的混合批料送入化学日用罐。标准电导率监测器可确保每次工艺过程中化学混合物均可以可靠地达到目标浓度水平。集成的分配模块可将精确混合的化学品从日用罐诉讼到工厂使用点

如需要大量精确混合的化学品,则可以使用CB 200的串联混合模块。集成日用罐可存储足够的混合品,以确保向工厂提供不间断供料。可配合化学品混合系统使用Kinetics CD 100或CD 200分配系统,以便将混合后的化学物质传输给晶圆厂。