Kinetics CD 200

系统概述

Kinetics CD 200化学品分配系统是一种安全、简易、可靠的工艺化学品分配系统,可将化学品分配至重要的半导体和光伏工艺模块。该系统配备有两个独立的操作冗余泵送模块。主泵送模块将化学品分配到工厂并提供连续过滤和再循环以确保颗粒物含量维持在非常低的水平。辅助模块用于源容器操作,例如将化学品转移到日用罐,并进行再循环回源。辅助泵模块还可以用作备用泵,在主泵送模块维修过程中,将化学品分配到工厂。CD 200系统用于确保敏感工艺操作所需的精确度和鲁棒性。

控制装置

  • Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
  • Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B
  • 人机界面,显示:
    • 系统P&ID状态
    • 报警和警告界面
    • 分配阀箱状态
    • 泵和过滤器运行界面
    • 有密码保护的维护界面
    • 手动开启阀门和泵
  • 可连接到工厂控制系统

选配件

  • 源桶和日用罐用的箱(最大可达500L)
  • 晶圆厂范围的循环
  • 最多达3个化学品出口阀
  • 自动化维护服务
  • 泵冲程测量和泄露检测
  • 可选离心泵,适用于高流量应用
  • 条码读取器
  • 不锈钢柜用于溶剂
  • 泵出口处的压力和流量指示器
  • 高流量开关,用于系统关闭
  • 高效空气过滤器过滤模块,用于鼓柜、日用罐和样品站
  • 低成本聚乙烯组件,用于非关键工艺

主要功能

  • 两个独立的泵送模块
  • 流量可设置为每分钟15、30和50升
  • 膜式泵,配备有压力缓冲器
  • 日用罐,用于缓冲存储容量
  • 冗余化学过滤器外壳(10英寸或20英寸)
  • 用于化学再循环和抛光的两条回路
  • 使用组合阀,减少占地面积和泄漏点
  • 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务
  • 去离子水喷枪

安全功能

  • 隔离的电和化学箱
  • 本地和远程EMO(紧急按钮)
  • 柜泄露检测和门联锁
  • 声音和视觉警告和报警
  • 可选配排放和高流量传感器
  • 可选桶箱、吨桶箱和日用罐

工艺流程图

配置冗余泵送模块

可靠性

  • MTBF>6000小时
  • MTBF>4500小时
  • MTTR<2小时
  • 可用度>99.95%