Kinetics CD 100

系统概述

Kinetics CD 100化学品分配系统是一种简单、低成本的化学品传输或分配设备。该设备能将液态化学品从桶或吨桶源容器泵送出来,并分配给工厂的各种湿式工艺工具。该设备具有可配置这一优点,能提供特定的流量和纯度水平,来符合您的工具和工艺需求。

控制装置

  • Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的PLC
  • 简单、按键式系统控制
  • 可选Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏,可显示:
    • 系统P&ID状态
    • 报警和警告界面
    • 分配阀箱状态
    • 泵和过滤器运行界面
    • 有密码保护的维护界面
    • 手动开启阀门和泵
    • 可连接到工厂控制系统

选配件

  • 用作冗余的后备泵
  • 压力缓冲器,用于提高过滤器的性能
  • 化学品过滤器外壳(10英寸或20英寸),带循环
  • 日用罐,用于缓冲存储容量
  • 日用罐循环,保证低颗粒水平
  • 晶圆厂范围的循环
  • 源桶和日用罐用的箱(最大可达500L)
  • 最多达3个化学品出口阀
  • 额外的日用罐管口,以便大量进料
  • 泵冲程测量和泄露检测
  • 条码读取器

主要功能

  • 流量可设置为每分钟15、30和50升
  • 使用组合阀,以便减少占地面积
  • 聚乙烯/聚丙烯或含氟聚合物材料,取决于具体的化学品和纯度需要
  • 聚丙烯箱,可防酸和苛性碱
  • 用于溶剂的不锈钢箱
  • 泵和过滤器的去离子水/氮气维护服务
  • 去离子水喷枪

安全功能

  • 隔离的电和化学箱
  • 本地和远程EMO(紧急按钮)
  • 箱泄露检测
  • 箱门联锁
  • 声音和视觉警告和报警
  • 门上有透明的监视窗
  • 可选配排放和高流量传感器

工艺流程图

上图显示的是源桶、单个泵和单个过滤器

上图显示的是吨桶、冗余泵、日用罐、并联过滤器

可靠性

  • MTBF>4500小时
  • MTBF>2500小时
  • MTTR<2小时s
  • 可用度>99.9%