工艺介质分配系统

作为全球领先的化学混合和运送、浆料运送,气体和超纯水系统以及水净化系统和阀门歧管盒等系统设计、制造、安装和认证供应商,Kinetics已在在全球安装了1,500多个工艺介质系统。

化学品运送

Kinetics的化学品运送模块具有可配置性、可靠性高、价格低廉等特点,可替代新工厂中现有的设备或装置。依靠最先进的分配技术、符合人体工程学的维护功能以及各种各样的流量/压力功能,我们的化学品分配工具具有广泛的应用空间。

混合化学品

自20世纪90年代初以来,Kinetics已开始为半导体行业生产化学品混合/稀释设备。Kinetics化学品混合系统可谓是混合精度和容量的理想组合,足以满足工厂的各种工艺和生产效率需要。

浆料运送

Kinetics在为最关键的氧化物、钨、多晶硅、STI和铜化学机械抛光等关键工艺设计和高精度系统服务方面拥有丰富的经验。系统可用于分配预混浆料,或混合和分配难度极大的混合浆料。

气体分配装置

我们的气体分配产品在200~300毫米晶圆制造以及薄膜和硅基光伏制造方面的优越性能已得到可靠证实。我们还设计和制造了不同类型的气体净化和液气分配系统,用于定制生产操作。