自动化湿台

确保操作员安全、可重复的晶圆加工、废料减少和最高产量

Kinetics设计和制造了一个完整系列的自动化湿台,旨在提供最大设备生产量、操作员安全和易用性。通过使用调度软件和自动化传输系统几乎消除了操作员错误,同时提供了对最敏感的晶圆基片的高度可控、可重复的加工。

系统基于个人计算机(PC)的控制器接口通过各种工艺槽对晶圆加工进行持续控制,并通过监控每项工艺的完成时间,通过连续工艺槽自动传输晶圆使总晶圆生产量最大化。每批晶圆皆采用识别码进行识别,工艺配方通过机载的基于Windows个人计算机的控制器系统自动下载到中央处理机(CPU)。数据库和监控系统可以通过SECS II接口与企业系统连接,以进行实时监控和数据记录。

Kinetics的湿法工艺设备采用专有的湿台设计特点,以满足精密清洗和湿法加工操作所需的最严格污染控制需求。通过该公司已进行的各种烟道测试,决定采用特殊的通风挡板和台板轮廓,使工艺槽周围或上方空气中粒子的涡流截留最少化。工艺槽中和晶圆表面上的环境粒子数因此最小化,从而使成功加工的晶圆的产量最大化。