半自动化湿台

基本信息

Kinetics的半自动化湿台专为使用两个或更多加工箱的工艺而设计。传输系统可以设置为从前到后或从左到右的线性配置,并用于单任务。线性传输系统被设计用于容纳最大200mm的单或双晶圆盒,或者最大300mm的单晶圆盒。控制系统包括一个可编程逻辑控制器(PLC)和彩色触摸屏界面。PLC被编程用于控制各方面的运动、工艺温度控制和冲洗功能。PLC包含多级密码保护,并且能够进行多个工艺配方存储。彩色触摸屏显示湿台参数。触摸屏设多个屏幕,用于维护、配方设置、工艺箱设置、运行和报警状态。

伺服电机既用于水平也用于垂直运动。伺服电机、滚珠螺杆、导轨和滑块位于湿台气室的单独隔间内。该气室密封并用氮气进行净化,以防止任何化学侵蚀。该密封的隔间有侧或后检修门,易于操作和维护。

产品特点

  • 湿台站符合大多数联邦认可的标准。
  • GE 9030系列PLC,配备有:
    全PID回路和安全联锁
    所有运动控制功能,包括可调节速度控制和多重定位。
    多级密码保护(操作员、工程、维护)。
    有限的数据记录和数据发布到局域网。
  • 线性运动系统
  • GE观察站CE,配备有10″彩色触摸屏界面和基于CE的软件。
  • 24″、36″、48″、72″和96″的外壳长度。
  • 聚丙烯或304不锈钢结构材料。
  • Semi S2紧急断电(EPO)蘑菇开关和电路。
  • Photohelic排气监控器,配备有与EPO联锁的声/光报警。
  • 气室液位传感器,配备有与EPO联锁的声/光报警。
  • 主氮气和CDA压力联锁,配备有与EPO联锁的声/光报警。
  • 带EPO接口的顶箱面板联锁开关
  • 氮气吹扫顶箱
  • 带有360°唇形排气的交叉排气装置
  • 洁净的聚氯乙烯(PVC)滑动护面罩
  • 特氟龙氮气和DI枪
  • 通过DI水总管的聚丙烯流
  • 带有支脚校平器的脚轮
  • 带有风闸和套环的排气过渡装置
  • 顶部或后部排气连接装置

可选功能

  • FM 4910认可的结构材料。
  • 后入式湿台外壳
  • 专用排放或瓶罐系统
  • 聚偏二氟乙烯(PVDF)或特氟龙® DI水总管
  • 通风柜型湿台外壳,配备有平衡重前框。
  • FM认可的二氧化碳(CO2)火灾探测和灭火系统。
  • Semi、CE认证或其他NRTL第三方检验和认证。
  • 高效空气过滤器(HEPA)/超高效空气过滤器(ULPA)空气过滤
  • 照明装置
  • 基于Windows的个人计算机,具有联网功能。
  • SecII/gem或设备管理
  • 型软件程序可用。
  • 特氟龙末端执行器