基本信息
Kinetics的半自动化湿台专为使用两个或更多加工箱的工艺而设计。传输系统可以设置为从前到后或从左到右的线性配置，并用于单任务。线性传输系统被设计用于容纳最大200mm的单或双晶圆盒，或者最大300mm的单晶圆盒。控制系统包括一个可编程逻辑控制器（PLC）和彩色触摸屏界面。PLC被编程用于控制各方面的运动、工艺温度控制和冲洗功能。PLC包含多级密码保护，并且能够进行多个工艺配方存储。彩色触摸屏显示湿台参数。触摸屏设多个屏幕，用于维护、配方设置、工艺箱设置、运行和报警状态。
伺服电机既用于水平也用于垂直运动。伺服电机、滚珠螺杆、导轨和滑块位于湿台气室的单独隔间内。该气室密封并用氮气进行净化，以防止任何化学侵蚀。该密封的隔间有侧或后检修门，易于操作和维护。
产品特点
- 湿台站符合大多数联邦认可的标准。
- GE 9030系列PLC，配备有：
全PID回路和安全联锁
所有运动控制功能，包括可调节速度控制和多重定位。
多级密码保护（操作员、工程、维护）。
有限的数据记录和数据发布到局域网。 - 线性运动系统
- GE观察站CE，配备有10″彩色触摸屏界面和基于CE的软件。
- 24″、36″、48″、72″和96″的外壳长度。
- 聚丙烯或304不锈钢结构材料。
- Semi S2紧急断电（EPO）蘑菇开关和电路。
- Photohelic排气监控器，配备有与EPO联锁的声/光报警。
- 气室液位传感器，配备有与EPO联锁的声/光报警。
- 主氮气和CDA压力联锁，配备有与EPO联锁的声/光报警。
- 带EPO接口的顶箱面板联锁开关
- 氮气吹扫顶箱
- 带有360°唇形排气的交叉排气装置
- 洁净的聚氯乙烯（PVC）滑动护面罩
- 特氟龙氮气和DI枪
- 通过DI水总管的聚丙烯流
- 带有支脚校平器的脚轮
- 带有风闸和套环的排气过渡装置
- 顶部或后部排气连接装置
可选功能
- FM 4910认可的结构材料。
- 后入式湿台外壳
- 专用排放或瓶罐系统
- 聚偏二氟乙烯（PVDF）或特氟龙® DI水总管
- 通风柜型湿台外壳，配备有平衡重前框。
- FM认可的二氧化碳（CO2）火灾探测和灭火系统。
- Semi、CE认证或其他NRTL第三方检验和认证。
- 高效空气过滤器（HEPA）/超高效空气过滤器（ULPA）空气过滤
- 照明装置
- 基于Windows的个人计算机，具有联网功能。
- SecII/gem或设备管理
- 型软件程序可用。
- 特氟龙末端执行器