自动化太阳能工艺

自动化硅片清洗与湿式处理系统

专为光伏产业设计

Kinetics公司的“Solar Queen”系列自动化湿式处理系统操作简便,全自动化运行,用于太阳能电池基板的化学工艺和清洗。操作人员可简单地装载和卸载搬运机中的材料,Solar Queen控制系统和自动搬运设备可自动负载处理100~200件基板。

凭借在集成电路产业30年的专业设备制造经验,我们能为客户提供可靠耐用的太阳能电池处理系统。我们的工程队伍可提供制程帮助,并可提供定制设计的设备配置,以便满足您的预算和吞吐量要求

应用:
太阳能电池的化学工艺——通常为125²或156²毫米的多晶硅方块;线切割后清洗、最后关键清洗、表面处理、蚀刻、镀层等。

结构:
我们设备的设计和制造均符合NEC(美国国家电气规程)、NFPA(美国消防协会)、FM(日本电气株式会社)4910和SEMI(半导体设备材料产业协会)等最主流行业标准的要求。我们只使用最高品质的组件,大多数通过了UL(美国安全检测实验室公司)批准。可应要求提供第三方认证证书。采用模块化设计,可按需要改变槽的布置。客户可定制任意系统。

产出量:
每小时1600片——10分钟可载入双盒(每盒100件)处理时间——取决于最大负载和要求的处理时间,产出时间各不相同。

控制器:
基于PLC(可编程控制器),带有PC接口控制器,可进行处理程序-驱动的工艺,操作简便。可根据工艺要求的改变来调整处理程序。

设施要求:
典型)208-220伏交流;压缩干燥空气:60磅/平方英寸;去离子水:20加仑/分钟;排气:工作台每纵尺150立方英尺。

制程帮助:
Kinetics可按照您计划的化工处理程序设定测试线和处理装置。如果客户尚无工艺记录,我们将提供各种化学混合物建议。Kinetics建议尽可能使用高成本效益比的“绿色”(无毒无腐蚀性)化学物质和气体。

层面布局示例(俯视图)