硅工艺设备

光伏材料工艺设备

专为光伏产业设计

Wafab International公司提供几种硅工艺的工具:

  • 硅原料清洗——硅“块”的蚀刻和清洗
  • 硅基板的蚀刻和清洗——用于空白太阳能基板材料
  • 太阳能电池的清洗、蚀刻和表面制备——用于印刷太阳能电池的表面处理

硅“块”清洗——通常需要稀释的清洁液和超声振荡工具。典型的工艺序列由多个步骤组成,包括开始的超声清洁与冲洗、稀酸洗涤、最后的冲洗和干燥。同样的工具还可用来清洁铸锭工艺过程产生的废料——收集硅锭的头尾料,化学工艺回收,然后重新融化为晶体生长/拉锭工具。Wafab工艺工具具有很高的处理量,负载可达450磅,并采用专门的机器人辅助机制。

使用机器人辅助设备,每小时通量的范围为600到2000余件。上述示例中,所有的工艺化学品均在处理罐中自动分配、监控和保持固定量。通常会有多个框架盒同时工艺,以提供最大的通量。

硅基板工艺——用于线切割后的空白多晶或单晶硅基板,然后进行最后的太阳能电路工艺。在这一过程中,空白基板从线锯承载梁上取下,装入工艺盒中。通常情况下,空白基板装入50件或100件的搬运机,然后使用机器人工具穿过一系列化学容器进行工艺。如果是少量的研发类型的应用,人工装载站即已经足够。

通常的工艺流程还涉及一系列简短的化学工艺、清洗和干燥步骤。Wafab可提供此类方面应用所需的所有工具,包括各种化学品搬运设备、夹具和工艺工具。

太阳能电池工艺——用于太阳能电池的电路印刷结束(或以其它方式生成在空白硅基板上)后。在这一最终的生产步骤中,制造出的太阳能电池将接受最后的清洗,或使用类似于上述空白硅基板工艺设备的工艺工具进行处理。

太阳能基板自动清洗工具