Oberflächenbehandlung

Wir liefern für viele namhafte Kunden weltweit chemische Prozesslösungen zur industriellen Oberflächenbehandlung. Wir sind spezialisiert auf die Entwicklung und Herstellung von standardisierten und kundenspezifischen Prozessanlagen und liefern sowohl manuelle, teilautomatisierte als auch vollautomatisierte Lösungen.

Unsere Spezialgebiete:

  • Advanced Packaging
  • MEMS
  • Semiconductor (Halbleiter)
  • Compound Semiconductor
  • Medizinische Geräte und Biofluidik
  • Solarindustrie
  • Datenspeicher
  • Biopharmazie


Zum Umfang von ECD Anwendungslösungen gehören:

  • FEOL, BEOL oder Advanced Packaging-Module
  • Reinigen, Ätzen, Entwickeln, Metallentfernung, Abdecklacke, Regenerierung und Dry IPA
  • Anwendungen für Säure, Basis- und Lösungsmittel
  • 100 mm- bis 450 mm-Silizium-Wafern, III-V-Materialien, Fotomasken, Glas und Leiterplatten
  • Einzel- oder Multi-Becken
  • Individuelle Substrate