MEGA® Air Cabinet: Sichere Abgabe giftiger und gefährlicher Gase.

 

MEGA® Air Cabinet ist ein Gasabgabesystem, das eine geschlossene Umgebung für die sichere Abgabe giftiger und gefährlicher Gase bietet, wie sie in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung verwendet werden. Das System ist sowohl für einfache brennbare und nicht-korrosive Gase (z. B. O2, H2, CH4) als auch für hochkorrosive, giftige und pyrophore Gase konfigurierbar, deren Freisetzung eine ernsthafte Gefahr für Menschen und Geräte darstellen würde.

 

Das System verwendet eine automatische oder manuelle vakuumunterstützte N2-Spülung. Redundante Sicherheitsfunktionen sorgen für eine automatische Systemabschaltung bei Gaslecks oder anderen Notfällen.

 

Der Gasschrank ist in Einzel-, Doppel- und Dreiflaschenkonfigurationen erhältlich. Bei Doppelflaschenkonfigurationen (beide Flaschen enthalten dasselbe Gas) erfolgt die Flaschenumschaltung automatisch, wenn der Flaschendruck auf ein niedriges Niveau abfällt. 

Das System im Überblick

  • Automatisches Gasabsperrventil für Notfälle
  • Platz für eine, zwei oder drei Gasflaschen
  • vakuumunterstütztes Spülen beim Flaschenwechsel
  • Sicherheitsabschaltung bei Überdruck
  • Modularer Aufbau, einfacher Servicezugang

Alle KINETICS Gasverteiler erfüllen die geltenden Richtlinien von:

 

  • OSHA, TGO, CE
  • Uniform Fire Code (UFC80) und National Fire
  • Protection Agency (NFPA 318)
  • Semi S2-0200
  • NRTL-Liste

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