Automatische und halbautomatische Nassbänke MEGA® Clean Auto

 

Bedienersicherheit und maximale Ergebnisse

MEGA® Clean Auto ist ein komplettes automatisiertes Nassbank-System, das für einen maximalen Gerätedurchsatz, Bedienersicherheit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt ist. Bedienerfehler werden durch den Einsatz der Planungssoftware und des automatisierten Transportsystems, das eine hochgradig kontrollierte, wiederholbare Verarbeitung der empfindlichsten Wafersubstrate ermöglicht, praktisch ausgeschlossen.

 

Die PC-basierte Steuerungsschnittstelle des Systems ermöglicht eine kontinuierliche Überwachung des Wafer-Fortschritts durch die verschiedenen Prozessbäder und maximiert den gesamten Wafer-Durchsatz, indem sie die Abschlusszeiten jedes Prozesses überwacht und die Wafer automatisch durch die aufeinanderfolgenden Prozessbäder transportiert. Jedes Waferlos wird durch einen Los-ID-Code identifiziert, und die Prozessrezepte werden automatisch über das eingebaute Windows-PC-basierte Steuerungssystem in die CPU heruntergeladen. Die Datenbank und das Überwachungssystem können über eine SECS II-Schnittstelle zur Echtzeitüberwachung und Datenprotokollierung mit Unternehmenssystemen verbunden werden.

Halbautomatische Nassbänke MEGA® Clean Auto: Für zwei oder mehr Prozessbehälter.

Die halbautomatischen Nassbänke MEGA® Clean Auto sind für Prozesse mit zwei oder mehr Prozessbehältern konzipiert. Das Transfersystem kann in einer linearen Konfiguration von vorne nach hinten oder von links nach rechts aufgestellt werden und wird für Einzelaufgaben verwendet. Die linearen Transfersysteme sind für die Aufnahme von Einzel- oder Doppel-Waferkassetten bis zu 200 mm oder einer einzelnen 300-mm-Waferkassette ausgelegt. Das Steuerungssystem umfasst eine SPS und eine Farb-Touchscreen-Schnittstelle. Die SPS ist so programmiert, dass sie den Transport, die Prozesstemperatur und die Spülung steuert und regelt. Die SPS verfügt über einen mehrstufigen Passwortschutz und ist in der Lage, mehrere Prozessrezepte zu speichern. Der Farb-Touchscreen verfügt über mehrere Bildschirme für Wartung, Rezeptureinstellung, Tankeinstellung, Betrieb und Alarmstatus.

 

Servomotoren werden sowohl für die horizontale als auch für die vertikale Bewegung eingesetzt. Die Servomotoren, die Kugelumlaufspindel, die Schienen und die Schlitten befinden sich in einem separaten Fach im Anschlusskasten des Prüfstands, das versiegelt und mit N2 gespült ist, um jeglichen chemischen Angriff zu verhindern. Das versiegelte Fach verfügt über seitliche oder hintere Zugangsklappen für eine einfache Zugänglichkeit und Wartung.

Das System im Überblick

  • Die Nassstationen entsprechen den meisten staatlich anerkannten Normen.
  • GE 9030 Serie SPS mit:
  • Lineares Bewegungssystem
  • GE View Station CE mit 10″ Farb-Touchscreen-Schnittstelle und CE-basierter Software.
  • 24″, 36″, 48″, 72″ und 96″ Schalenlängen
  • Konstruktionsmaterialien aus Polypropylen oder Edelstahl 304
  • SEMI-S2-Not-Aus Pilzschalter und Schaltung
  • Fotoelektrische Abluftüberwachung mit akustischen/visuellen Alarmen, verriegelt mit Not-Aus
  • Flüssigkeitsstandssensor im Anschlusskasten mit akustischen/visuellen Alarmen, die mit dem Not-Aus verbunden sind
  • Haupt-N2- und CDA-Druckverriegelung mit akustischen/visuellen Alarmen, verbunden mit Not-Aus
  • Verriegelungsschalter für das Kopfgehäuse mit Not-Aus-Schnittstelle
  • N2-gespültes Kopfgehäuse
  • Kreuzauslass mit 360°-Lippenauslass
  • Durchsichtige PVC-Schiebeschutzschilde
  • N2- und DI-Pistolen aus Teflon®
  • Durchfluss-DI-Wasserverteiler aus Polypropylen
  • Rollen mit Nivellierfüßen
  • Auspuffübergang mit Dämpfer und Kragen
  • Abluftanschlüsse oben oder hinten

  • FM 4910-zugelassene Baumaterialien.
  • Rückseitig zugängliche Bankschale
  • Separate Abflüsse und oder Behältersysteme
  • PVDF- oder Teflon®-DI-Wasserverteiler
  • Bankschale mit Dunstabzugshaube, mit Gegengewicht Frontschieber.
  • FM-zugelassenes CO2-Brandmelde- und -unterdrückungssystem
  • SEMI- und CE- Kennzeichnung oder andere NRTL-Prüfung und -Zertifizierung durch eine dritte Partei
  • HEPA/ULPA-Luftfilterung
  • Beleuchtungseinrichtung
  • Windows-basierter PC mit Vernetzungsmöglichkeiten
  • SECII/GEM- oder anlagenverwaltungsähnliche Software verfügbar
  • Teflon®-Endeffektor

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