Prozessmedienverteilungssysteme

Mit mehr als 1.500 weltweit installierten Prozessmediensystemen ist Kinetics ein führender Anbieter von Systemdesign, -herstellung, -installation und -qualifizierung für Chemikalienmisch- und -abgabesysteme, Schlammabgabesysteme, Gas- und UPW- und Wasseraufbereitungssysteme sowie Ventilverteilerkästen.

Die Chemikalienabgabemodule von Kinetics sind konfigurierbar, zuverlässig und kostengünstig als Ersatz für vorhandene Geräte oder zum Einbau in neuen Werken. Mit modernster Dosiertechnologie, ergonomischen Wartungsfunktionen und einer Vielzahl von Durchfluss-/Druckfunktionen stehen unsere Chemikalien-Dosiertools für eine Vielzahl von Anwendungen zur Verfügung.

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Kinetics stellt seit Anfang der 90er Jahre Chemikalienmisch-/Verdünnungsgeräte für die Halbleiterindustrie her. Unsere Systemoptionen bieten eine gewinnbringende Kombination aus Mischgenauigkeit und Kapazität, die erforderlich sind, um eine Vielzahl von Anforderungen an Produktionsprozesse und Produktivität zu erfüllen.

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Kinetics verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Entwicklung und Lieferung hochpräziser Systeme für die kritischsten Oxid-, Wolfram-, Polysilicium-, STI- und Kupfer-CMP-Prozesse. Wir haben Systeme zur Abgabe vorgemischter Schlammmaterialien und zum Mischen und Abgeben sehr anspruchsvoller Schlammmischungen.

Unsere Produkte für die Gasverteilung haben sich in der Waferherstellung von 200 und 300 mm sowie in der Herstellung von Dünnschicht- und Silizium-Photovoltaik bewährt. Wir können auch eine Vielzahl von Gasreinigungs- und Flüssiggas-Abgabesystemen für kundenspezifische Herstellungsvorgänge entwerfen und herstellen.