Siliziumverarbeitungsausrüstung

Prozessausrüstung für PV-Material

FÜR DIE PV-INDUSTRIE ENTWICKELT

Wafab International bietet verschiedene Arten von Werkzeugen für die Siliziumverarbeitung an:

  • Silicon substrate etching and cleaning – for blank solar substrate materials
  • Silizium-Rohstoffreinigung – Ätzen und Reinigen von Silizium-Rohbrocken
  • Reinigung, Ätzung und Oberflächenvorbereitung von Solarzellen – zur Oberflächenbehandlung von gedruckten Solarzellen

Reinigung von Siliziumbrocken – erfordert normalerweise eine verdünnte Reinigungslösung mit Ultraschall-Rührfähigkeit. Ein typischer Prozessablauf ist ein mehrstufiger Vorgang, der die anfängliche Reinigung und das Spülen mit Ultraschall, das Waschen mit verdünnter Säure, das abschließende Spülen und das Trocknen umfasst. Ähnliche Werkzeuge werden auch zum Reinigen von Abfallmaterial aus dem Ingot-Prozess verwendet. Dabei werden „Oberteile“ und „Endstücke“ der Silizium-Ingots gesammelt und chemisch verarbeitet und zurückgewonnen, bevor sie in Kristallzucht-/Ingot-Ziehwerkzeuge eingeschmolzen werden. Wafab-Prozesswerkzeuge können unter Verwendung spezieller Roboter-Assistenzmechanismen eine Verarbeitung von Lasten mit einem Volumen von bis zu 450 Pfund ermöglichen.

Das Durchsatzvolumen reicht von 600 bis über 2.000 Stück pro Stunde, wenn robotergestützte Geräte verwendet werden. In solchen Fällen werden alle Prozesschemikalien automatisch in den Prozesstanks ausgegeben, überwacht und gewartet. Häufig werden mehrere Kassetten gleichzeitig verarbeitet, um einen maximalen Durchsatz zu erzielen.

Siliziumsubstratbearbeitung – wird für die unbeschichteten poly- oder monokristallinen Si-Substrate nach dem Drahtsägen und vor der endgültigen Solarkreisbearbeitung benötigt. Bei diesem Prozess werden Platinensubstrate von der Drahtsägen-Trägerstange entfernt und dann in Prozesskassetten gelegt. Typischerweise werden leere Substrate entweder in 50-teilige oder 100-teilige Träger geladen und dann unter Verwendung einer Robotervorrichtung durch eine Reihe von Chemikalientanks verarbeitet. Für kleinvolumige F&E-Anwendungen kann eine einfache manuell geladene Prozessstation ausreichend sein.

Typische Prozessabläufe umfassen eine Reihe von kurzen chemischen Behandlungen, Spül- und Trocknungsschritten. Wafab bietet alle für solche Anwendungen erforderlichen Werkzeuge, einschließlich einer breiten Palette von Geräten für den Umgang mit Chemikalien, Prozessvorrichtungen und Prozesswerkzeugen.

Solarzellenbearbeitung – erfolgt, nachdem die Solarzellenschaltung auf die leeren Siliziumsubstrate gedruckt oder auf andere Weise aufgebracht wurde. In diesem abschließenden Herstellungsschritt können fertige Solarzellen unter Verwendung von Prozesswerkzeugen, die in ihrem Aufbau den zuvor beschriebenen Anlagen zur Verarbeitung von Siliziumrohlingen ähneln, endgültig gereinigt oder speziell behandelt werden.

AUTOMATISIERTES SOLAR-SUBSTRAT-REINIGUNGSTOOL