Aeris

Volumen ist selbstverständlich

Massenfertigung ist dort, wo Produktionsziele vorherrschen und wo sich Aeris auszeichnet. Eine vollständige Palette von Nassbank-Prozessstationen, die genau in denjenigen Hinsichten benutzerdefiniert entwickelt werden, wo es am meisten darauf ankommt, hat sich durch Einhaltung der aktuellen SEMI-Standards bewährt.

Kinetics bietet manuelle, halbautomatische und vollautomatische Nassbankstationen und Abzüge aus einer Vielzahl hochwertiger Materialien an, darunter FM-zugelassenes PVC-C sowie Edelstahl.

Sicherheit für das Bedienungspersonal und Benutzerfreundlichkeit sind von zentraler Bedeutung für die automatisierten Nassprozessstationen von Kinetics. Planungssoftware und automatisierte Transportsysteme bieten optimale Kontrolle und Wiederholbarkeit auch für die empfindlichsten Wafersubstrate. Mit jeder Charge, die durch einen ID-Code verfolgt wird, lädt das integrierte Windows-PC-basierte Steuerungssystem automatisch Prozessrezepturen in die CPU herunter.

Wafer fließen zwischen den Prozessbädern und werden überwacht und effizient transportiert, um die Ausbeuten zu verbessern und die Zykluszeiten zu verwalten. Aeris erhöht die Geschwindigkeit der komplexesten Systeme, ohne dabei die Präzision der Reinigung und der Nassverarbeitung zu vernachlässigen. Die von Kinetics durchgeführten internen Rauchkanaltests untermauern die Aeris-Linie, die fortschrittliche Entlüftungsleitbleche und Decktouren umfasst, die das Einfangen von Partikeln aus der Luft minimieren.

Die halbautomatischen Nassbanksysteme basieren auf produktionserprobten Technologieplattformen. Mit einer SPS, die für die Steuerung aller Aspekte von Bewegung, Prozesstemperatursteuerung und Anstiegsfunktionen programmiert ist, speichert Aeris mehrere Prozessrezepte und implementiert einen mehrstufigen Passwortschutz.

Bei Kinetics ist Überwachung von entscheidender Bedeutung. Farb-Touchscreens werden daher zur Anzeige von Bankparametern in jeder Phase und jedem Schritt verwendet, wobei der Alarmstatus immer angezeigt wird.

Bereits vor Beginn der Anpassung bietet jedes Aeris-Produkt eine bemerkenswerte Verbesserung gegenüber bestehenden und wettbewerbsfähigen Systemen. Aufgrund der umfangreichen Funktions- und Optionslisten gibt es keinen Grund, warum eine überlegene Nassbank-Technologie für hohe Volumina in neuen, erweiterten oder nachgerüsteten Prozessszenarien nicht in Betracht gezogen werden sollte.

Automatisch

Ein margenbewusster Ablauf, der Sicherheit betont und strenge Spezifikationen bei hohen Volumina erfüllt. Die zeitliche Kontrolle mehrerer Variablen führt trotz der Herausforderungen zu überlegenen Erträgen.

Halbautomatisch

Wenn zwei oder mehr Verarbeitungstanks im Einsatz sind, setzt Aeris lineare Transfersysteme ein, die Einzel- oder Doppelwaferkassetten mit bis zu 200 mm oder eine einzelne 300 mm-Waferkassette aufnehmen können.


AKTUELLES

Alle erwartungen übertroffen: Die halbautomatische Nassbank Aeris zeichnet sich durch herausragende Eigenschaften aus

Die halbautomatischen Nassbänke von Kinetics sind vorsätzlich und mit Schwerpunkt auf Prozesse mit zwei oder mehr Verarbeitungstanks auf Wiederholbarkeit und Volumen ausgelegt. Bei einem Übertragungssystem, das entweder in einer linearen Konfiguration von vorne nach hinten oder von links nach rechts eingestellt ist, ist Single-Tasking nur der Anfang. Allein diese zehn Merkmale, die aus einer Liste von über 30 Standard- und optionalen Merkmalen hervorgehen, erfordern die ernsthafte Erwägung der Anschaffung neuer oder nachgerüsteter Anwendungen.

  • Die Nassstationen entsprechen den meisten staatlich anerkannten Standards.
  • SPS der Serie GE 9030 mit:
    • Voller PID-Schleife und Sicherheitsverriegelungen
    • Allen Bewegungssteuerungsfunktionen, einschließlich einstellbarer Geschwindigkeitsregelung und Mehrfachpositionierung
    • Mehrstufigem Passwortschutz (Bediener, Engineering, Wartung)
    • Eingeschränkter Datenprotokollierung und Datenveröffentlichung im lokalen Netzwerk
  • System zur linearen Antriebsbewegung
  • GE View Station CE mit 10-Zoll-Farb-Touchscreen-Oberfläche und CE-basierter Software
  • Schalenlängen von 24", 36", 48", 72" und 96"
  • Konstruktionsmaterialien aus Polypropylen oder Edelstahl 304
  • Semi S2 EPO (Not-Aus)-Pilzschalter und Schaltung
  • Photohelischer Abgasmonitor mit akustischen/visuellen Alarmen, die mit dem EPO-Schalter gekoppelt sind
  • Füllstandsensor mit akustischem/visuellem Alarm, der mit dem EPO-Schalter gekoppelt ist
  • Hauptdruckverriegelung für N2 und CDA mit akustischen/visuellen Alarmen, die mit EPO verriegelt sind

Wenden Sie sich an das Kinetics Engineering Support-Team, um umfassende Informationen zu erhalten, einschließlich technischen Supports und Preisen: Klicken Sie HIER