Oberflächenvorbereitungstools und Nassbänke: Volumen zählt.

Das Spektrum der KINETICS Systeme reicht vom Batch-Eintauchen über Sprüh- oder Einzelwafer-Anwendungen bis hin zu Nassbänken. Alle können von der manuellen bis zur vollständigen Multitasking-Automatisierung konfiguriert werden.

 

Die Nassbänke von KINETICS sind auf Wiederholbarkeit und Volumen ausgelegt, mit Schwerpunkt auf Prozessen mit zwei oder mehr Verarbeitungstanks. Unsere Nassprozessstationen nach den aktuellen SEMI-Standards sind in vollautomatischen, halbautomatischen und manuellen Konfigurationen erhältlich.

 

  • FEOL, BEOL oder Advanced-Packaging-Module
  • Reinigen, Resist Strips, Ätzen, Entwickeln, Abheben des Metalls, Rückgewinnen und Trocknen von IPA
  • Verwendbar für Säure-, Basen- und Lösungsmittelanwendungen
  • Einzel- oder Mehrkassettenbadgrößen
  • Siliziumwafer von 100 mm bis 450 mm, III-V-Materialien, Fotomasken, Glas und große Verteiler
  • Kundenspezifische Substrate

Video Nassbank aus Edelstahl

Video Nassbank, pulverbeschichtet

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