Der Kinetics GC 300

Systemüberblick

Der manuelle Gasschrank Kinetics GC 300 ist ein halbautomatisches Gasdosiersystem, das eine eingeschlossene Umgebung für die sichere Abgabe giftiger und gefährlicher Gase bietet, wie sie in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung verwendet werden. Das System ist für hochkorrosive, giftige und pyrophore Gase vorgesehen, deren Freisetzung eine ernsthafte Gefahr für Menschen und Geräte darstellen würde. Das System verfügt über eine automatisierte vakuumunterstützte Spülung und Druckdichtigkeitsprüfung des Flaschenanschlusses. Redundante Sicherheitsfunktionen sorgen für eine automatische Systemabschaltung bei Gaslecks oder anderen Notfällen. Die SPS-basierte Steuerung mit grafischer Benutzeroberfläche sorgt für einen ordnungsgemäßen Ablauf der Zylindervorgänge und ermöglicht außerdem eine schnelle und einfache Fehlerbehebung.

Kontrollen

  • Automatisches Unterbrechen des Gasflusses unter Notfallbedingungen, einschließlich internen Hardware-Bedingungen oder einem externen EMO-Signal
  • Siemens S7 300 PLC
  • 10-Zoll-HMI-Touch-Panel mit Anzeige von
    • P&ID Systemstatus
    • Alarm- und Warnbildschirme
    • Sensor-, Aktor- und Ventilstatus

Optionen

  • Hastelloy-Material im Regler für korrosive Gase
  • Stickstoff-Spülpanel, wenn geregeltes N2 nicht verfügbar ist
  • Koaxialer Schlauchanschluss für korrosive und pyrophore Gase
  • Der nach dem Regler befindliche Partikelfilter entfernt Partikel ≥ 0,003 μm
  • Gasreiniger (mit integriertem Filter), der sich hinter dem Regler befindet. Entfernt Verunreinigungen wie H2O, CO2, O2 und CO bis < 1 ppb
  • Sensoren für Gasüberschuss und automatisierte Flaschenventile sorgen für zusätzliche Sicherheit
  • Flaschenwaage zur Bestimmung einer leeren Flasche für Flüssiggase
  • Heiz- und Kühlaggregate für bestimmte flüssige Prozessgase

Wichtige Funktionen

  • Automatisches Gasabsperrventil für Notfälle
  • Platz für eine, zwei oder drei Gasflaschen
  • Automatisches, vakuumunterstütztes Spülen beim Flaschenwechsel
  • Sicherheitsabschaltung bei Überdruck
  • Wassersprinkler für den Brandschutz

Sicherheitsvorrichtungen

Alle Kinetics-Gasschränke erfüllen die geltenden Richtlinien der folgenden Institutionen:

  • OSHA, TGO, CE
  • Uniform Fire Code (UFC80) und National Fire
  • Protection Agency (NFPA 318)
  • Semi S2-0200
  • NRTL-Liste

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit Zweiflaschen-Betrieb und automatischen Flaschen-Absperrventilen

Zuverlässigkeit

  • Verfügbarkeit > 99,999 %
  • MTBF > 8000 Stunden
  • MTBA > 6000 Stunden
  • MTTR < 2 Stunden

¹Die Zuverlässigkeitswerte repräsentieren die typische Leistung.