Der Kinetics GC 100

Systemüberblick

Der manuelle Gasschrank Kinetics GC 100 ist ein kostengünstiges, einfach zu bedienendes Gasabgabesystem, das eine eingeschlossene Umgebung für die sichere Abgabe giftiger und gefährlicher Gase bietet, wie sie in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung verwendet werden. Dieser einfache Gasschrank ist in erster Linie für einfache brennbare und nicht-korrosive Gase (z. B. O2, H2, CH4) vorgesehen und verfügt über ein automatisches Gasabsperrventil für den Fall eines Gaslecks oder einer Notabschaltung. Der Gasschrank ist in Einzel-, Doppel- und Tripleflaschenkonfigurationen erhältlich. Bei Doppelflaschenkonfigurationen (beide Flaschen enthalten dasselbe Gas) erfolgt die Flaschenumschaltung automatisch, wenn der Flaschendruck auf ein niedriges Niveau abfällt. Das System verfügt über eine sehr einfache elektronische Steuerung, die eine einfache Kontrollleuchte aktiviert, wenn eine Flasche leer ist, und das System auch im Notfall herunterfährt.

Kontrollen

Der manuelle Gasschrank Kinetics GC 100 verfügt über eine einfache SPS-Steuerung, mit der folgende Funktionen ausgeführt werden können:

  • Abstellen des Gasflusses unter Notfallbedingungen
  • Reagieren auf ein Gasleck in der Abgasleitung
  • Anzeigen, wenn eine Gasflasche leer ist

Optionen

  • Zweite Regelstufe für variablen Druckausgang (mit zwei Gasflaschen)
  • Analoges Manometer auf der Hochdruckseite des Reglers mit elektrischem Kontakt zur Anzeige einer leeren Flasche. Anschluss an ein externes Gebäudeautomationssystem (eines pro Flasche)
  • Analoges Manometer auf der Hochdruckseite mit Signal zur Anzeige einer leeren Flasche. Beinhaltet eine einfache Steuerung mit „Flasche leer“ -Leuchte (eine pro Flasche)
  • Spülgasanschluss für Flaschenwechsel (einer pro Flasche)
  • Flaschenwaage zur Bestimmung einer leeren Flasche für Flüssiggase (eine pro Flasche)

Wichtige Funktionen

  • Automatisches Gasabsperrventil für Notfälle/li>
  • Platz für eine, zwei oder drei Gasflaschen
  • Mechanische Umschaltung bei Verwendung von zwei Flaschen
  • Manuelle Entlüftung zur Abgasleitung
  • Modularer Aufbau, einfacher Servicezugang

Sicherheitsvorrichtungen

Alle Kinetics-Gasschränke erfüllen die geltenden Richtlinien der folgenden Institutionen:

  • OSHA, TGO, CE
  • Uniform Fire Code (UFC80) und National Fire Protection Agency (NFPA 318)
  • Semi S2-0200
  • NRTL-Liste

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit Doppelflaschen-Betrieb, automatische Flaschenumschaltung

Zuverlässigkeit¹

  • Verfügbarkeit > 99,999 %
  • MTBF > 8000 Stunden
  • MTBA > 6000 Stunden
  • MTTR < 2 Stunden

¹ Die Zuverlässigkeitswerte repräsentieren die typische Leistung.