Gasverteilungssysteme

Die Kinetics-Gasverteilungssysteme werden in mikroelektronischen und solaren Produktionsstätten auf der ganzen Welt eingesetzt. Wählen Sie aus einer Vielzahl von Panels, Schränken und Controllern. Die Systeme sind auf die spezifischen Anforderungen des Gas- und Fabrikationsprozesses für den manuellen, halbautomatischen oder vollautomatischen Betrieb ausgelegt.
Für die Herstellung von 200 mm- und 300 mm-Wafern sowie für die Herstellung von Dünnschicht- und Silizium-Photovoltaik sind auch standardisierte Gasverteilungssysteme mit hohem Volumen erhältlich. Kinetik-Tools sind gut dokumentiert, um sicherzustellen, dass Qualität und Konsistenz jedem System eigen sind.
Kinetics entwickelt und fertigt Gasreinigungs- und Flüssiggas-Abgabesysteme nach strengen Qualitätsrichtlinien, um kundenspezifische Anforderungen zu erfüllen. Alle Kinetics-Gassysteme erreichen Betriebszeiten von mehr als 99,999 %.

Kinetics GP 100

Das GP 100 Manual Gas Panel ist ein kostengünstiges, einfach zu bedienendes Gas-Dispenser-Panel zur Steuerung ungefährlicher Gase wie Sauerstoff, Distickstoff, Kohlenstofftetrafluorid, Schwefelhexafluorid und Helium. Dieses auf Zuverlässigkeit und Langlebigkeit ausgelegte, manuell zu bedienende Gaspaneel eignet sich für Anwendungen, bei denen keine geschlossenen Gasschränke erforderlich sind oder nicht in die Anlage passen.

Kinetics GC 100

Der manuelle Gasschrank Kinetics GC 100 ist ein kostengünstiges, einfach zu bedienendes Gasabgabesystem, das mit einem Abluftgehäuse zur sicheren Abgabe giftiger und gefährlicher Gase ausgestattet ist. Dieser einfache Gasschrank mit automatischem Absperrventil wurde für die Abgabe von leicht entzündlichen und nicht korrosiven Gasen wie Sauerstoff, Wasserstoff und Methan entwickelt.

Kinetics GC 300

Der Kinetics Gasschrank GC 300 ist ein vollautomatisches Gasabgabesystem mit einem Auspuffgehäuse, das die Freisetzung von stark korrosiven, giftigen und pyrophoren Gasen verhindert, die für Menschen und Geräte gefährlich sind.