Slurry-Versorgungssysteme: Höchste Leistung, höchste Standards.
Slurry-Versorgungssysteme von KINETICS sind für den Erfolg führender Mikroelektronikunternehmen weltweit von entscheidender Bedeutung. Im Mittelpunkt steht die Fähigkeit, auch zeitlich enge Anforderungen zu erfüllen und dabei weiterhin hohe Standards einzuhalten.
Durch sorgfältiges Design und agile Fertigung unterstützt KINETICS die derzeit anspruchsvollsten chemisch-mechanischen Planarisierungsprozesse (CMP). Der Schlüssel liegt in der Planung von erwarteten Unregelmäßigkeiten wie Materialabweichungen, Betriebsbedingungen und Personal, das den Prozess überwacht.
Die umfassende Erfahrung von KINETICS bei der Entwicklung und Lieferung von hochpräzisen Slurry-Systemen kommt uns dabei zugute. Unsere Systeme liefern vorgemischtes Slurrymaterial oder mischen äußerst anspruchsvolle Slurrys und geben diese ab. Das schließt hochkritische Oxid-, Wolfram-, Polysilicium-, STI- und Kupfer-CMP-Aufschlämmungsprozesse ein.
