Das Kinetics SD 100

Systemüberblick

Das Kinetics SD 100-Schlammabgabesystem ist ein zuverlässiges und konfigurierbares Abgabesystem für kritische Schlamm- und SMP-Prozessanwendungen. Das System bietet Platz für Einzel- oder Doppelquellenbehälter und gibt vorgemischten Schlamm entweder an die CMP-Poliertools oder an einen optionalen Tagestank ab. Der Tagestank nimmt den Inhalt mehrerer Vorratsfässer auf, um die Verfügbarkeit des an das Werk abgegebenen Schlamms sicherzustellen. Der Schlamm wird entweder mit Membran- oder Magnetkreiselpumpen zu den Produktionsstandorten geleitet. Die Zirkulation über eine Quell- und Abgabeschleife verhindert das Absetzen von Schlammmaterial. Optional sind Transfer- und Abgabefilter erhältlich, um größere Schlammagglomerate zu entfernen. Optional ist ein automatisiertes Filter-Spülmodul erhältlich, um eine nahtlose Abgabe von Schlammmaterial zu gewährleisten. Das System ist auf die Minimierung von Totzweigen ausgelegt und verwendet Hochleistungskomponenten, die nachweislich in schwierigen Schlammumgebungen funktionieren. Benutzerdefinierte Spülsequenzen halten das System sauber und sorgen dafür, dass der Schlamm für eine optimale Prozessleistung herhalten kann

kontrollen

  • Allen-Bradley SLC 500 oder Siemens SPS der S7-Serie
  • Allen-Bradley Panelview 550 oder Siemens TP177B HMI, mit folgenden :
    • P&ID Systemstatus
    • Alarm- und Warnbildschirme
    • Verteilerkastenstatus
    • Pumpen- und Filterlaufzeitbildschirme
    • Passwortgeschützte Wartungsbildschirme
    • Manuelle Ansteuerung von Ventilen und Pumpen
  • Anbindung an die Werkssteuerung

Optionen

  • Rührvorrichtungen für Quellfässer und Tagestank
  • Magnetschwebekreiselpumpe zur Schlammabgabe
  • Einzeltransferfilter
  • Ein- oder zweistufige Dosierfiltration mit redundanten Filterwegen
  • Automatisierte DI-Wasser- und N2-Dienste für Ausgabefilter
  • Benutzerdefinierte Spül-/Reinigungssequenzen
  • Tagestank – 200, 500 oder 1000 l
  • Automatisierte Gegendruckregelung für den Verteilerkreislauf
  • Quellfässerschrank (Einzel oder Doppel)
  • Tagestankschrank, bis zu 500 l
  • Internes Probenventil für den Schlamm
  • Barcode-Reader

Wichtige Funktionen

  • Schlamm-Quellbehälter, Einzel- oder Doppel, typischerweise für 200 Liter-Fässer
  • Dosierrate 5 bis 20 Liter pro Minute
  • Zuverlässiger Betrieb der Membranpumpe
  • Redundante Pumpmodule für kompromisslose Zuverlässigkeit
  • Umfüll- und Umwälzzirkulation, um das Absetzen des Schlamms zu verhindern.
  • Befeuchtetes N2 zum Abdecken von Quellbehältern und Tagestanks
  • Konstruktionsmaterialien aus Polyethylen und Polypropylen
  • Polypropylen-Schrank

Sicherheitsvorrichtungen

  • Getrennte Pumpenkammern für die Online-Wartung
  • Lokales und fernbedientes EMO
  • Schranklecksuche und Türverriegelungen
  • Akustische und optische Warnungen und Alarme
  • Optionen für Abgas- und Durchflusssensoren

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit zwei Quellfässern, Tagestank, Transfer- und Ausgabefiltern und Fass-/Tankrührern

Zuverlässigkeit

  • MTBF > 4500 Stunden¹
  • MTBA> 2500 Stunden¹
  • MTTR < 2 Stunden
  • Verfügbarkeit > 99,9 %

¹Filterwechsel wird nicht als Teil der Systemstillstands- oder Reparaturzeit betrachtet.