Das Kinetics SB 200

Systemüberblick

Das Kinetics SB 200 Schlammmisch- und Abgabesystem wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an CMP-Schlamm-Qualität und -Verfügbarkeit für eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung zu bieten. Die bewährte gewichtsbasierte Mischtechnologie von Kinetic bietet sehr enge Mischspezifikationen unter einer Vielzahl von Mischungsverhältnissen und chemischen Bedingungen. Für Schlammmischungen mit einer begrenzten Haltbarkeit werden zwei Tandem-Misch- / Abgabetanks verwendet, um sicherzustellen, dass den CMP-Prozesstools immer frisches Schlammmaterial zur Verfügung steht. Innerhalb des Schlammmischmoduls werden DI-Wasser, konzentrierte Aufschlämmung und chemische Bestandteile (die von unabhängigen Abgabeeinheiten abgegeben werden) in einen von zwei Mischtanks geleitet, die sich auf einer Präzisionswägezelle befinden. Es werden sowohl Grobfüllungs- als auch Feinfüllungsschritte verwendet, um die Schlammmischungs-Auffüllrate zu maximieren. Nach der Überprüfung der Mischchargen mit einer Vielzahl von Messpaketen wird das Schlammgemisch entweder mit einer Membranpumpe oder mit einer magnetisch schwebenden Kreiselpumpe direkt an das Werk abgegeben. Das Schlammabgabe-Modul liefert das gemischte Material mit einem hohen Maß an Präzision in Bezug auf Absetzen, Scherempfindlichkeit, Schaumbildung und chemische Stabilität.

Kontrollen

  • Allen-Bradley SLC 500 or Siemens S7 series PLC
  • Allen-Bradley Panelview 550 oder Siemens TP177B HMI, mit folgenden Produkteigenschaften:
    • P&ID Systemstatus
    • Alarm- und Warnbildschirme
    • Verteilerkastenstatus
    • Misch- und Spülrezeptur- und Kalibrierungsbildschirme (passwortgeschützt)
    • System-Flush-Sequenzbildschirm, passwortgeschützt
    • Pumpen- und Filterlaufzeitbildschirme
    • Passwortgeschützte Wartungsbildschirme
  • Anbindung an die Werkssteuerung

Optionen

  • 2. chemischer Bestandteil der Mischung
  • Redundante 3. Pumpe zur Sicherung ausgefallener Pumpen
  • Mehrere Schlamm-Messpakete (pH, Leitfähigkeit, Dichte, Brechungsindex und Titration)
  • Magnetschwebekreiselpumpe zur Schlammabgabe
  • Abgabe-Filtration
  • Regelung des Gegendrucks des Verteilerkreises
  • Automatisierter Filterspülungs-/reinigungsbetrieb
  • Rührer für Misch- und Tagestanks (elektrisch und pneumatisch)
  • Probenstation

Wichtige Funktionen

  • Gewichtsbasierte Mischtechnologie
  • Zwei Misch-/Ausgabetanks; verschiedene Größen erhältlich
  • Membranmisch-/Dosierpumpen
  • Genauigkeit der chemischen Mischung bis zu 0,005 % des Gewichts, absolute Fehler
  • Mischen von DIW, Schlamm und 1 Chemikalie
  • 20 LPM nominale Abgaberate
  • Befeuchtetes N2 zum Abdecken von Quellbehältern und Tagestanks
  • Konstruktionsmaterialien aus Polyethylen und Polypropylen
  • Polypropylen-Schrank
  • Sprühkugel zum DI-Wasserspülen von Misch- und Tagestanks

Sicherheitsvorrichtungen

  • Getrennte Pumpenkammern für die Online-Wartung
  • Lokales und fernbedientes EMO
  • Schranklecksuche und Türverriegelungen
  • Akustische und optische Warnungen und Alarme
  • Optionen für Abgas- und Durchflusssensoren

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit zwei Mischbehältern, redundanten Pumpen, Ausgabefiltration und Rührvorrichtungen für Schlämme

Zuverlässigkeit

  • MTBF > 4500 Stunden¹
  • MTBA > 2500 Stunden¹
  • MTTR < 2 Stunden
  • Verfügbarkeit > 99,9 %

¹Filterwechsel wird nicht als Teil der Systemstillstands- oder Reparaturzeit betrachtet.