Systemüberblick
Das Kinetics SB 100 Schlammmisch- und Abgabesystem wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an CMP-Schlamm-Qualität und -Verfügbarkeit für eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung zu bieten. Die bewährte gewichtsbasierte Mischtechnologie von Kinetic bietet sehr enge Mischspezifikationen unter einer Vielzahl von Mischungsverhältnissen und chemischen Bedingungen. Innerhalb des Schlammmischmoduls werden DI-Wasser, konzentrierter Schlamm und chemische Bestandteile (die von unabhängigen Abgabeeinheiten abgegeben werden) in einen von zwei Mischtanks geleitet, die sich auf einer Präzisionswägezelle befinden. Es werden sowohl Grobfüllungs- als auch Feinfüllungsschritte verwendet, um die Schlammmischungs-Auffüllrate zu maximieren. Nach der Überprüfung der Mischchargen mit einer Vielzahl von Messverpackungen wird das Schlammmisch in den Tagestank überführt und anschließend an das Werk abgegeben. Das Schlammabgabe-Modul liefert das gemischte Material mit einem hohen Maß an Präzision in Bezug auf Absetzen, Scherempfindlichkeit, Schaumbildung und chemische Stabilität. Abhängig von den Drucksteuerungsanforderungen der CMP-Prozesstools sind Membran- oder Magnetschwebepumpen erhältlich.
Kontrollen
- Allen-Bradley SLC 500 or Siemens S7 series PLC
- Allen-Bradley Panelview 550 oder Siemens TP177B HMI, mit folgenden Produkteigenschaften:
- P&ID Systemstatus
- Alarm- und Warnbildschirme
- Verteilerkastenstatus
- Misch- und Spülrezeptur- und Kalibrierungsbildschirme (passwortgeschützt)
- System-Flush-Sequenzbildschirm, passwortgeschützt
- Pumpen- und Filterlaufzeitbildschirme
- Passwortgeschützte Wartungsbildschirme
- Anbindung an die Werkssteuerung
options
- 2. chemischer Bestandteil der Mischung
- Mehrere Schlamm-Messpakete (pH, Leitfähigkeit, Dichte, Brechungsindex und Titration)
- Magnetschwebekreiselpumpe zur Schlammabgabe
- Abgabe-Filtration
- Regelung des Gegendrucks des Verteilerkreises
- Automatisierter Filterspülungs-/reinigungsbetrieb
- Rührer für Misch- und Tagestanks (elektrisch und pneumatisch)
- Radarfüllstandsensoren für Tagestanks
- Probenstation
Wichtige Funktionen
- Gewichtsbasierte Mischtechnologie
- Ein Mischtank und ein Tagestank in verschiedenen Größen
- Membranmisch-/Dosierpumpen
- Genauigkeit der chemischen Mischung bis zu 0,005 % des Gewichts, absolute Fehler
- Mischen von DIW, Schlamm und 1 Chemikalie
- 20 LPM nominale Abgaberate
- Befeuchtetes N2 zum Abdecken von Quellbehältern und Tagestanks
- Sprühkugel zum DI-Wasserspülen von Misch- und Tagestanks
- Konstruktionsmaterialien aus Polyethylen und Polypropylen
- Polypropylen-Schrank
Sicherheitsvorrichtungen
- Getrennte Pumpenkammern für die Online-Wartung
- Lokales und fernbedientes EMO
- Schranklecksuche und Türverriegelungen
- Akustische und optische Warnungen und Alarme
- Optionen für Abgas- und Durchflusssensoren
Prozess-Flussdiagramme
Konfiguration mit einem Mischtank, einem Tagestank, einer redundanten Abgabepumpe, einer Abgabefiltration und Rührvorrichtungen
Zuverlässigkeit
- MTBF > 4500 Stunden¹
- MTBA > 2500 Stunden¹
- MTTR < 2 Stunden
- Verfügbarkeit > 99,9 %
¹Filterwechsel wird nicht als Teil der Systemstillstands- oder Reparaturzeit betrachtet.