Das Kinetics SB 100

Systemüberblick

Das Kinetics SB 100 Schlammmisch- und Abgabesystem wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an CMP-Schlamm-Qualität und -Verfügbarkeit für eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung zu bieten. Die bewährte gewichtsbasierte Mischtechnologie von Kinetic bietet sehr enge Mischspezifikationen unter einer Vielzahl von Mischungsverhältnissen und chemischen Bedingungen. Innerhalb des Schlammmischmoduls werden DI-Wasser, konzentrierter Schlamm und chemische Bestandteile (die von unabhängigen Abgabeeinheiten abgegeben werden) in einen von zwei Mischtanks geleitet, die sich auf einer Präzisionswägezelle befinden. Es werden sowohl Grobfüllungs- als auch Feinfüllungsschritte verwendet, um die Schlammmischungs-Auffüllrate zu maximieren. Nach der Überprüfung der Mischchargen mit einer Vielzahl von Messverpackungen wird das Schlammmisch in den Tagestank überführt und anschließend an das Werk abgegeben. Das Schlammabgabe-Modul liefert das gemischte Material mit einem hohen Maß an Präzision in Bezug auf Absetzen, Scherempfindlichkeit, Schaumbildung und chemische Stabilität. Abhängig von den Drucksteuerungsanforderungen der CMP-Prozesstools sind Membran- oder Magnetschwebepumpen erhältlich.

Kontrollen

  • Allen-Bradley SLC 500 or Siemens S7 series PLC
  • Allen-Bradley Panelview 550 oder Siemens TP177B HMI, mit folgenden Produkteigenschaften:
    • P&ID Systemstatus
    • Alarm- und Warnbildschirme
    • Verteilerkastenstatus
    • Misch- und Spülrezeptur- und Kalibrierungsbildschirme (passwortgeschützt)
    • System-Flush-Sequenzbildschirm, passwortgeschützt
    • Pumpen- und Filterlaufzeitbildschirme
    • Passwortgeschützte Wartungsbildschirme
  • Anbindung an die Werkssteuerung

options

  • 2. chemischer Bestandteil der Mischung
  • Mehrere Schlamm-Messpakete (pH, Leitfähigkeit, Dichte, Brechungsindex und Titration)
  • Magnetschwebekreiselpumpe zur Schlammabgabe
  • Abgabe-Filtration
  • Regelung des Gegendrucks des Verteilerkreises
  • Automatisierter Filterspülungs-/reinigungsbetrieb
  • Rührer für Misch- und Tagestanks (elektrisch und pneumatisch)
  • Radarfüllstandsensoren für Tagestanks
  • Probenstation

Wichtige Funktionen

  • Gewichtsbasierte Mischtechnologie
  • Ein Mischtank und ein Tagestank in verschiedenen Größen
  • Membranmisch-/Dosierpumpen
  • Genauigkeit der chemischen Mischung bis zu 0,005 % des Gewichts, absolute Fehler
  • Mischen von DIW, Schlamm und 1 Chemikalie
  • 20 LPM nominale Abgaberate
  • Befeuchtetes N2 zum Abdecken von Quellbehältern und Tagestanks
  • Sprühkugel zum DI-Wasserspülen von Misch- und Tagestanks
  • Konstruktionsmaterialien aus Polyethylen und Polypropylen
  • Polypropylen-Schrank

Sicherheitsvorrichtungen

  • Getrennte Pumpenkammern für die Online-Wartung
  • Lokales und fernbedientes EMO
  • Schranklecksuche und Türverriegelungen
  • Akustische und optische Warnungen und Alarme
  • Optionen für Abgas- und Durchflusssensoren

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit einem Mischtank, einem Tagestank, einer redundanten Abgabepumpe, einer Abgabefiltration und Rührvorrichtungen

Zuverlässigkeit

  • MTBF > 4500 Stunden¹
  • MTBA > 2500 Stunden¹
  • MTTR < 2 Stunden
  • Verfügbarkeit > 99,9 %

¹Filterwechsel wird nicht als Teil der Systemstillstands- oder Reparaturzeit betrachtet.