Slurry Versorgungssysteme

Wie bei anderen Prozessmedienverteilungssystemen von Kinetics sind Slurry Versorgungssysteme für den Erfolg führender Mikroelektronikunternehmen weltweit von entscheidender Bedeutung. Im Mittelpunkt steht die Fähigkeit, Anforderungen mit einem Gefühl der Dringlichkeit zu erfüllen und dabei weiterhin die Standards einzuhalten.

Durch sorgfältiges Design und agile Fertigung unterstützt Kinetics die derzeit anspruchsvollsten chemisch-mechanischen Planarisierungsprozesse (CMP).  Der Schlüssel liegt in der Planung von erwarteten Unregelmäßigkeiten wie Materialabweichungen, Betriebsbedingungen und Personal, das den Prozess überwacht.

Die umfassende Erfahrung von Kinetics bei der Entwicklung und Lieferung von hochpräzisen Schlammsystemen ist gut dokumentiert. Kinetics ist darauf vorbereitet, vorgemischtes Schlammmaterial zu liefern oder äußerst anspruchsvolle Schlammmischungen zu mischen und abzugeben. Dies schließt hochkritische Oxid-, Wolfram-, Polysilicium-, STI- und Kupfer-CMP-Aufschlämmungsprozesse ein.

Delivery

Mega SD50™

The Mega SD50 Series Slurry Distribution System feeds raw slurry to a Mega Slurry Blend and Distribution (SBD) system. The Distribution system is configured to continuously circulate raw slurry from two drums/totes to and from the SBD system.

Mega SD100™

The Mega SD 100 Series supplies raw slurry to the SBD system from one of two totes/drums. As raw slurry is depleted from one tote/drum, the Mega SD 100 Series replenishes the supply from the other tote/drum.
On demand from the SBD System, one tote/drum recirculates through the raw slurry supply loop to the host until the demand is met. Manual modulation of a multi-turn flow throttling valve, located on the raw slurry loop return line, compliments the supply sub-system by maintaining a proper back pressure and flow to the blend system.

Filtration

Mega SF100™

The Mega SF100 Series system consists of three pairs of 20” filter bowl/head assemblies configured to permit simultaneous filtration of blended slurry material from a single or dual source, and to dispense to two global loops; one pair of filters is associated with each loop discharge, while the third pair of filters is used to maintain loop supply when filter cartridge change-out is required.

Mega SF200™

The Mega SF 200 Series system consists of two successive 20” filter bowl/head assemblies on a single bank. One filter bank is active, leaving the remaining bank in standby. The standby filter bank is brought online and filled with slurry to enable the online filter bank to be brought offline when filter cartridge change-out is required.

Mega SF300™

The Mega SF 300 Series system consists of two 20” filter bowl/head assemblies on one bank, automatic valves to control the flow of slurry, and a set of pressure gauges to read filter inlet and outlet pressures. Multiple configurations are available using the two filter elements: series, parallel, and a combination of series and parallel.