Schlammabgabe

Wie bei anderen Prozessmedienverteilungssystemen von Kinetics sind Gülleabgabesysteme für den Erfolg führender Mikroelektronikunternehmen weltweit von entscheidender Bedeutung. Im Mittelpunkt steht die Fähigkeit, Anforderungen mit einem Gefühl der Dringlichkeit zu erfüllen und dabei weiterhin die Standards einzuhalten.

Durch sorgfältiges Design und agile Fertigung unterstützt Kinetics die derzeit anspruchsvollsten chemisch-mechanischen Planarisierungsprozesse (CMP).  Der Schlüssel liegt in der Planung von erwarteten Unregelmäßigkeiten wie Materialabweichungen, Betriebsbedingungen und Personal, das den Prozess überwacht.

Die umfassende Erfahrung von Kinetics bei der Entwicklung und Lieferung von hochpräzisen Schlammsystemen ist gut dokumentiert. Kinetics ist darauf vorbereitet, vorgemischtes Schlammmaterial zu liefern oder äußerst anspruchsvolle Schlammmischungen zu mischen und abzugeben. Dies schließt hochkritische Oxid-, Wolfram-, Polysilicium-, STI- und Kupfer-CMP-Aufschlämmungsprozesse ein.

Delivery

Mega SD50™

Das Schlammverteilungssystem der Mega SD50-Serie führt Rohschlamm einem Mega Schlammmischungs- und Verteilungssystem (SBD) zu. Das Verteilungssystem ist so konfiguriert, dass Rohschlamm kontinuierlich von zwei Fässern/Behältern zum und vom SBD-System umgewälzt wird.

Mega SD100™

Die Mega SD 100-Serie versorgt das SBD-System mit Rohschlamm aus zwei Behältern/Fässern. Wenn der Rohschlamm eines Behälter/eines Fasses aufgebraucht ist, füllt die Mega SD 100-Serie den Vorrat des anderen Behälters/des anderen Fasses wieder auf.
Auf Anforderung des SBD-Systems wird ein Behälter/ein Fass durch die Rohschlamm-Versorgungsschleife zum Wirt zurückgeführt, bis die Anforderung erfüllt ist. Die manuelle Modulation eines Multiturn-Durchflussdrosselventils, das sich in der Rücklaufleitung der Rohschlammschleife befindet, ergänzt das Zulaufsubsystem durch Aufrechterhaltung eines ordnungsgemäßen Gegendrucks und Durchflusses zum Mischsystem.

Filtration

Mega SF100™

Das System der Mega SF100-Serie besteht aus drei Paaren von 20-Zoll-Filterschalen-/Kopfeinheiten, die so konfiguriert sind, dass sie die gleichzeitige Filtration von gemischtem Schlammmaterial aus einer oder zwei Quellen ermöglichen und auf zwei globale Schleifen verteilt werden können. Ein Filterpaar ist jeder Schleifenentladung zugeordnet, während das dritte Filterpaar zur Aufrechterhaltung der Schleifenversorgung verwendet wird, wenn ein Filterpatronenwechsel erforderlich wird.

Mega SF200™

Das Mega SF 200 Series-System besteht aus zwei aufeinanderfolgenden 20-Zoll-Filtertopf-Baugruppen auf einer einzigen Bank. Eine Filterbank ist aktiv und lässt die verbleibende Bank im Standby-Modus. Die Standby-Filterbank wird online geschaltet und mit Schlamm gefüllt, damit die Online-Filterbank offline geschaltet werden kann, wenn ein Filterpatronenwechsel erforderlich ist.

Mega SF300™

Das System der Mega SF 300-Serie besteht aus zwei 20-Zoll-Filtertopf-Baugruppen auf einer Bank, automatischen Ventilen zur Steuerung des Schlammflusses und einer Reihe von Manometern zum Ablesen des Filterzulauf- und -ablaufdrucks. Mit den beiden Filterelementen sind mehrere Konfigurationen verfügbar: seriell, parallel und eine Kombination aus seriell und parallel.