Messtechnik

Prozesskontrolle durch Messung

Chemische Metrologie ist die Wissenschaft von der genauen Messung der Mengen von Komponenten, aus denen ein Gemisch besteht. In der Halbleiterindustrie ist die chemische Messtechnik von entscheidender Bedeutung für die Entwicklung und Aufrechterhaltung einheitlicher Rezepturen für erfolgreiche Herstellungsprozesse.

Beispielsweise verwenden chemisch-mechanische Planarisierungsprozesse (CMP-Prozesse) Schlämme unterschiedlicher Konsistenz und Partikelgröße. Chemische Messsysteme werden als Teil der CMP-Schritte in den Fertigungsprozess integriert, um eine Inline-Überwachung zu ermöglichen, mit der die richtige Konzentration der Zusammensetzung einer Aufschlämmung aufrechterhalten werden kann.

Die Inline-Tools von Kinetics für die chemische Messtechnik unterstützen CMP-Prozesse auf unterschiedliche Weise, von der Überwachung und Nachfüllung von Gemischkomponenten über Partikelgrößen- und Verteilungsanalysen bis hin zur Echtzeit-Konzentrationsmessung. Zusammen bewahrt diese Produktsuite die Integrität chemischer Formulierungen während des gesamten CMP-Prozesses.

Mega SA100™

Das automatische Titrations- und Nachfüllsystem Mega SA100 (ATRS) regelt den Prozentsatz einer bestimmten Substanz in einem Gemisch. Beispielsweise wird das System häufig so programmiert, dass der in der Aufschlämmung enthaltene Prozentsatz an H2O2 gesteuert wird. Diese Substanz nimmt im Laufe der Zeit langsam im Gemisch ab und muss bei Bedarf streng überwacht und nachgefüllt werden.

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Mega SA200™

Das Partikelanalysesystem der Serie SA200 (einschließlich PMS 5200 und PCMB) bietet stationäre oder tragbare Partikelgrößen- und/oder Verteilungsanalysen. Die Systeme umfassen Verdünnungskontroll- und Spülmechanismen zur Aufrechterhaltung der Betriebszeit und Genauigkeit. Spülfunktionen können entweder DI- oder chemische Spülmedien unterstützen. Die Konfigurationen können einen einzelnen oder doppelten Lasersensor enthalten. Stationäre Systeme können so konfiguriert werden, dass die Ausgabe an einen dedizierten PC oder an den integrierten IPC in einem SBD-Tool erfolgt.

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Mega SA300™

Das SA300 PCMB verwendet Infrarot-, Refraktometrie- und Ultraschalltechniken, um die chemische Konzentration in Echtzeit zu messen. Diese Techniken sind nicht probenschädigend, so dass die Geräte an den primären Prozessleitungen des Vorrats oder bei Vorhandensein von Rücklaufkreisläufen chemischer Prozesswerkzeuge platziert werden können, ohne die Gesundheit oder den chemischen Charakter der Flüssigkeit zu beeinträchtigen. Diese chemischen Inline-Konzentrationssysteme können auch auf Windschatten angewendet werden, um eine zusätzliche Wirtschaftlichkeit durch die Wartung mehrerer Analysepunkte mit einem einzigen Analysegerät zu erzielen.


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