Umwälzbäder

ChemKleen Center Feed™ Umlauf- und Filterbad

Allgemeine Informationen

Kinetics bietet seit über 45 Jahren wirtschaftliche Lösungen für die Waferbearbeitung. 1979 erforschten und entwickelten wir mit Hilfe eines führenden Chipherstellers, der ehemaligen WAFAB International, das erste Center Feed-Umwälz- und Filterbad für die Halbleiterindustrie. Das Chemkleen-Bad wird hauptsächlich für HF-, BOE- und KOH-Anwendungen verwendet, kann jedoch mit den meisten Säuren eingesetzt werden. Die standardmäßigen Umwälz- und Filterbäder von Kinetics sind als komplette Einheiten erhältlich. Sie umfassen die Tankbaugruppe mit dem abnehmbaren vierseitigen, kaskadierten Innenwehr, Wärmetauscherspulen, Pumpen-/Motorbaugruppe mit Filterkammer, zwei pneumatische Ablassventile aus Polypropylen, einen transparenten PVC-Deckel und Halteschlitze.

Besonderheiten

Tankaufbau

Die Chemkleen-Tankbaugruppe von Kinetics kann aus Polypropylen, PVDF und vielen von FM 4910 zugelassenen Materialien hergestellt werden. Standardtanks sind für Einzel- und Doppelwaferkassetten mit einer Größe von 100 mm bis 300 mm ausgelegt. Kundenspezifische Tanks sind ebenfalls erhältlich

Vierseitiger Wehrkorb

WAFAB war 1981 Pionier des abnehmbaren vierseitigen kaskadierenden Innenwehrs mit Nivellierschrauben. Zusammen mit den doppelten Verteilerschienen und dem großen Strömungskanal bietet dieses Design die höchsten Strömungsraten und eine gleichmäßige laminare Strömung, die durch den Waferträger erzielt wird, wodurch bessere Ätzraten und die niedrigste Partikelanzahl im Prozessbereich erzielt werden.

Wärmeaustauschspulen

Die Wärmetauscher aus Polyethylen oder Teflon befinden sich außerhalb des Prozesswehrs (außerhalb des Wehrkorbs), um eine Kontamination des Waferfachs zu verhindern. Die Wärmeaustauschspulen sind funkengeprüft und druckgeprüft, um auch die kleinsten Undichtigkeiten zu vermeiden. Die Materialauswahl hängt von der Chemie und den Temperaturen ab.

Filterkammer

Die kundenspezifische Filterkammer von Kinetics besteht aus reinem, nicht gefülltem Monomer-Polypropylen oder PVDF und verfügt über eine abnehmbare Kappe, die mit Acme-Gewinden versehen ist, um ein Überkreuzen zu verhindern. Die Filterkammer ist so bearbeitet, dass sie auf alle 10-Zoll-Filterelemente mit offenem Ende passt, die 222 O-Ringe verwenden. Die Pumpen-/Filterbaugruppe lässt sich leicht aus dem Prozesstank entfernen , und die Pumpenbaugruppe lässt sich schnell von der Filterkammer trennen, um die Wartung zu vereinfachen und Ausfallzeiten zu reduzieren.

Kompakte Tauchpumpe

Kundenspezifische Pumpenmotoren, die bei kompakter Größe die höchste Leistung und das höchste Drehmoment bieten. Es stehen drei Pumpenmotoren zur Verfügung (1/8, 1/3 und 1/2 PS). Jeder Motor ist standardmäßig mit einer hochwertigen Epoxidbeschichtung ausgestattet, die gegen Säuredämpfe und Spritzwasser beständig ist.