MICROKLEEN™-Schnellkippspüler

Die MICROKLEEN™-Schnellkippspüler sind mit verstellbaren Sprühschienen oben, externen Einfüllschienen unten und einer größeren Entleerungstür ausgestattet. Mit diesen Funktionen befüllen die Kippspüler schneller, kippen innerhalb von Sekunden und verbrauchen weniger Wasser. Das vierseitige Überlaufwehr bricht die Oberflächenspannung und entfernt Partikel aus dem Prozessbereich. Die Schnellkippspüler sind so hergestellt, dass sie vor Ort nachgerüstet werden können, ohne dass Änderungen am vorhandenen Installationssystem vorgenommen werden müssen. Kippspüler können auch mit den meisten QDR-Controllern verwendet werden.

Eigenschaften

  • Oben verstellbare Sprühschienen und außen liegende Befüllschienen
  • Standard 360° vierseitiges kaskadierendes Innenwehr
  • Einzel- oder Doppelklapptüren
  • Hot-DI-kompatibel
  • Kann mit den meisten vorhandenen Ablassspülsteuerungen verwendet werden
  • Tanks aus Polypropylen, PVDF oder TEFLON®
  • Schnelles Ablassen von Wasser, Restsäure und Partikeln
  • Für die Verwendung von DI-Warmwasser in ausgewählten Prozessen geeignet
  • Größe für Wafer von 75 mm bis 300 mm (Sondergrößen sind erhältlich)
  • Wafer werden gründlich mit einstellbaren Sprühschienen und externen Bodenfüllschienen gespült
  • Viton Standard O-Ring-Dichtung (andere Werkstoffe auf Anfrage)
  • Mikroprozessorsteuerung, die voll programmierbar ist und mehrere Spülkombinationen zulässt
  • Vor Ort nachrüstbar

  • N2-Injektion
  • Widerstandsüberwachung
  • Dual-Kipptüren für die Wasserrückgewinnung
  • Kundenspezifische Größen oder Konfigurationen auf Anfrage
  • Mit oder ohne Steuerung erhältlich
  • Füllstandsensoren 

MPC-301 Mikroprozessorsteuerung

MPC-301 ist ein kompaktes, in sich geschlossenes Gerät, das mehrere Optionen für Kipp- und Kaskadenspülen bietet. Vier diskrete LEDs zeigen den aktuellen Systemstatus an. Die Steuerung arbeitet unter Berücksichtigung der Zeit, des Flüssigkeitsniveaus und des spezifischen Widerstands entsprechend Ihren Prozessanforderungen.

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