Anlagensupport-Ausrüstung

Kinetics entwirft und fertigt auch eine umfangreiche Palette von Spezialprodukten und Anlagensupport-Geräten, um den besonderen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden.

QUARZBEHÄLTER

Unsere MEGATHERM™-Hochtemperatur-Quarzbäder wurden für Resist-Stripping, RCA-Reinigung und Siliziumnitrid-Ätzung entwickelt.

UMWÄLZBÄDER

Das erste Center Feed™-Umwälz- und Filterbad für die Halbleiterindustrie. Das Chemkleen™-Bad wird hauptsächlich für HF-, BOE- und KOH-Anwendungen verwendet.

TAUCHPUMPEN

Kinetics hat seine Tauchpumpen ausschließlich für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie an umlaufende, gefilterte Ätzmodule entwickelt.

TEMPERATURGESTEUERTE ZIRKULATOREN

WHRV™ und WHO™ wurden speziell zur Temperaturregelung in gefilterten Ätzmodulen und anderen Arten von Chemikalientanks entwickelt.

QUICK-DUMP-SPÜLGERÄT

Das Microkleen™-Quick-Dump-Spülgerät ist mit verstellbaren oberen Sprühschienen, externen unteren Befüllschienen und einer größeren Entleerungsklappe ausgestattet, die das Entleeren innerhalb von Sekunden ermöglicht.

PUMPSTATIONEN

Unsere Chemblast™-Serie von Pumpstationen wurde für Situationen entwickelt, in denen keine AWN verfügbar ist oder sich das Prozess-Tool nicht in der Nähe der AWN befindet.

EXSICCATORSCHRÄNKE

Wenn feuchtigkeitsempfindliche Geräte eine geschützte Umgebung benötigen, sind die Exsikkatorregale und Lagerschränke der Kinetics-Produktreihe unverzichtbar.

GLOVEBOXEN

Gloveboxen und andere Sicherheitskammern sind in kundenspezifischen Ausführungen für jede Anwendung und jedes Etat erhältlich.

QUARZ-REINIGUNGSSYSTEME

Kinetics bietet spezielle Quarzrohrreinigungssysteme für die gründliche Innen- und Außenreinigung der Rohroberfläche von Diffusionsrohren und ähnlichen Quarzwaren an.

FLASCHENWASCHSTATIONEN

Die Standardflaschenwaschstation von Kinetics wurde zum Reinigen und Unterbringen von bis zu 8 Ein-Gallonen-Flaschen entwickelt.

FLASCHENWAGEN

Kinetics‘ Flaschenwagen bieten eine praktische und sichere Möglichkeit, abgefüllte Chemikalien bei Bedarf zu transportieren.

AREBEITSTISCHE

Kinetics bietet auch kundenspezifisch konfigurierte Stahlarbeitstische zu wettbewerbsfähigen Preisen an.