Mikroelektronik & Spitzentechnologie

Für anspruchsvollste Halbleiter-Fertigungsprozesse in den Bereichen F & E und Produktion fertigen wir präzise Reinstmedien- und Fluid-Handling-Systeme. Dabei sind wir global aufgestellt und unterhalten weltweite Standorte im Bereich Engineering und Fertigung. Wir haben bereits Prozess-Systeme für kritische Anwendungen in über 150 Fabriken installiert – für 50 der weltweit größten Halbleiterhersteller. Seit 1973 gehören wir zu den international führenden Unternehmen in der Entwicklung, Herstellung, Installation und Zertifizierung von Reinstmediensystemen für Chemikalien, Slurries, Gase und Reinstwasser für Anwendungen aus der Halbleiter- und Solarindustrie.

In der Planung und Umsetzung von schlüsselfertigen Prozess-Systemen haben wir viel Erfahrung. Dabei agieren wir für den Kunden als Hauptansprechpartner und sind in alle Prozess-Schritte involviert. Wir kennen die Bedürfnisse unserer Kunden genau und auch deren Prozesse: Unsere Engineering & Design-Teams stimmen sich zu allen technischen, zeitlichen und finanziellen Parametern mit dem Kunden ab – dies garantiert optimale Lösungen. Die Installations-Teams nehmen die Anlagen direkt vor Ort in Betrieb, pünktlich innerhalb der gesetzten Projektlaufzeit. Unsere bewährten Projektmanagement- und Qualitätssicherungsprozesse gewährleisten, dass wir als Partner beim Bau neuer Fabriken oder bei der Erweiterung bestehender Anlagen auch anspruchsvollsten Anforderungen gerecht werden. Das komplette Chemie und Gas-Management übernehmen unsere Vor-Ort-Teams (TCM und TGM) – sie betreiben die kritischen Chemie- und Gasanlagen sicher, effizient und zuverlässig.

Unsere System-Lösungen:

  • Prozess-Chemikalien
  • Bulk- und Spezialgase
  • Reinstwasser
  • Vakuumsysteme
  • Prozesskühlwasser
  • Systeme zur Abwasserbehandlung