SCADA和控制

PLC Controls

Mega流体系统提供基于PLC或PAC的控制系统,用于化学品和浆料混合和分配系统的控制和自动化。我们选择了针对单个工具合理可行的控制系统后,利用支架和/或分布式IO以及内外部网络和通信,控制和监测该工具的关键装置(泵、阀门、罐)以及度量参数(pH值、SGU、浓度、颗粒粒径、滴定、温度)。

  • 利用与HMI系统相同的软件工具建立该系统
  • 通过虚拟网络计算机(VNC)远程控制(可选项)
  • 网页客户端选项
  • 通知/电子邮件选项
  • 功能性和灵活度提高

MegaView™

Mega Fluid Systems Controls Engineering Group supplies turn-key control, monitoring, and automation solutions for molecular delivery tools. Our team of Controls and Electrical Engineers have extensive experience in the following applications:

  • Automating Chemical and Slurry Blending and Distribution systems
  • Designing intuitive HMI and SCADA applications
  • Providing plug-and-play network connectivity solutions, and
  • Providing alarm, graphing & charting, and reporting services.

Utilizing state-of-the-art visualization software, our team creates graphical user interfaces that show the user the information they need, when they need it – information rich when the application requires it and always clear and intuitive. System overviews, drill-downs to P&ID-based details, set point and recipe control, alarm monitoring and acknowledgment, and special custom features implemented after extensive collaboration with the system users are all part of the Mega Fluid Systems HMI experience.

MegaSafe™

MegaSafe™是一款控制软件,当可编程逻辑控制器(PLC)发生故障时,用于维持球形循环向使用点化学机械研磨(CMP)和清洁工具的供给。MegaSafe系统能够跟踪工具在停机时的状态,实现PLC无缝替换并保留合格的浆料批次,防止工厂生产中断,降低整体制造成本。

PLC故障将导致配料系统立刻停机,需要处理已完成部分加工的晶片。如果将MegaSafe集成到某Mega化学品或浆料配送系统的硬件控制中,MegaSafe可将系统运行恢复到故障发生时所执行的步骤,同时实现与系统运行的“无缝转换”。因此,它能缩短系统重启时间,降低因化学品流动中断造成的工厂晶片损坏。

MegaSafe专门面向适用于Mega流体系统的产品设计,也可兼容Mega流体系统基于以太网的SBD100系统以及基于以太网的系统升级。

MegaLink 2

MegaLink 2系统为化学品分配装置(CDU)与多个使用点(POU)工具之间握手信号的状态和需求提供界面连接。该系统为Mega分配工具和阀箱(VMB)提供状态和阀门控制的相互连接,通过采用先进的以太网通信为POU工艺设备供料。该系统旨在控制和实现厂内化学品自动传递,每台主机可支持多达8台远程装置。

MegaLink 2系统的配置高度灵活。其中,化学品或浆料由CDU流出,经过VMB后,再以球形循环的模式返回CDU。当CDU中出现化学品或浆料时,系统即向主机发送信号。POU准备好接收化学品或浆料时,即向主机发送需求信号。如果无警报,信号将发送至VMB,请求开启单杆自动阀,使得化学品或浆料流向POU入口。

标准和特征:

  • 输入输出(I/O)完全可配置,如安全联锁装置和安全阀
  • 可通过多源输送解决方案控制VMB
  • 软/硬件握手信号连接
  • 主机包含触摸显示屏
  • 主机可控制多达8台远程装置
  • I/O配置尺寸多样化,适配各类规模的工厂
  • 支持多达128种不同的球形循环及其相连的CDU与POU
  • 支持多达128个VMB(最多12根可完全配置式阀杆)或128个手动控制的TVB
  • 冗余直流电源
  • 支持多达32个CSS点

备选功能:

  • 冗余通信
  • 冗余交流电源
  • 冗余可编程逻辑控制器(PLC)