MEGATHERM HOTPOT和氮化物蚀刻

基本信息

Kinetics公司的MEGATHERM™耐高温石英槽采用纯净熔融的石英制造,用于低污染环境和高温应用,使用时需注意三个重要方面:安全性、可靠性和清洗操作。MEGATHERM氮化物蚀刻用于选择性地蚀刻氮化硅,对二氧化硅无蚀刻作用。Kinetics的氮化物蚀刻技术采用了一种独有的去离子水自动化喷射系统,该系统可保持恒定的沸腾和酸浓度,确保了准确的控制。其中还采用了去离子水电磁阀来作为加热器的逻辑组件,当加热器关闭时,电磁阀打开,反之亦然。本系统还带有聚丙烯材料的冷凝头,铁氟龙®换热盘管,一个调节器和一个流量计。

功能

模压无缝罐

MEGATHERM系统有一个无缝的模压石英内罐,确保低污染和无尘粒的环境。

二级防护罐

石英内罐由一个阻燃的聚丙烯密封罐保护,其独有的法兰设计可提供一种迷宫式的密封保护,保护加热板免受酸雾和溢出液体的损坏。

温度安全冗余措施

所有的MEGATHERM均为间接加热元件,用来快速而可靠的加热。具体实现方法是在石英罐的外侧安装了一个外部板式加热器。石英罐有两个冗余的安全电路,直接位于加热板上。第一个是双金属快动开关,另一个是一个J型的热电偶。双金属开关为自动复位电路,J型热电偶为手动复位电路。

其他功能

  • 带背压开关、调节器和流量计的氮气液位传感器。
  • 装配或不装配排液管
  • 供电:120/208/240 伏交流,单相或三相,50/60赫兹。
  • 10:1 铁氟龙®稀释排液阀可选