石英罐

我们的Megatherm™系列耐高温石英槽主要用于抗蚀剂剥离和氮化硅蚀刻。

MEGATHERM循环槽

Megatherm™耐高温石英循环槽采用纯熔融石英制造,可耐高温,适用于低污染环境。

MEGATHERM HOTPOT和氮化物蚀刻

Megatherm™耐高温石英槽适用于低污染以及无颗粒物的环境。Megatherm™ 氮化物蚀刻用于选择性地蚀刻氮化硅,对二氧化硅无蚀刻作用。