循环槽

ChemKleen中心给水™循环和滤过槽

45年发展过程中,Kinetics始终致力于为晶圆工艺业提供经济的解决方案。1979年,在当时一家领先的芯片制造商(即前WAFAB International公司)的帮助下,Kinetics开创性地研发出适用于半导体业的第一台中心给水循环和滤过槽。Chemkleen槽主要用于HF(氢氟酸)、BOE(缓冲氧化物刻蚀液)和KOH(氢氧化钾)等,但也可与其它大多数酸合用。Kinetics的标准循环和滤过槽是一部完整的设备,槽总成有一个可拆卸的四边层叠内挡板、换热盘管、带过滤室的泵/电机总成、两个聚丙烯气动排放阀,和一个透明的聚氯乙烯盖和容纳槽。

功能

槽组装

Kinetics的Chemkleen循环槽可使用聚丙烯、聚偏氟乙烯和许多FM 4910批准的材料制造。标准槽可容纳单或双晶圆框架盒(尺寸范围为100毫米到300毫米)。循环槽也可定制

四边的挡板筐

1981年,WAFAB公司率先推出了带有校平螺丝的四边层叠内挡板。与双喷洒轨和大号流道一起,这一设计确保了最高的流量和均匀的层流,晶圆搬运机可因此具有更高的蚀刻速率,保证了工艺区域最低的尘粒计数。

换热盘管

聚乙烯或特氟隆材料的换热盘管位于工艺挡板的外侧(在挡板筐外),以防止晶圆室被污染。换热盘管经过了火花试验、压力试验,以确保不会有针孔缝隙。材料选择取决于化学工艺工艺和温度。

过滤室

Kinetics的定制过滤室使用无填料的纯单体聚丙烯或聚偏氟乙烯制作,带有可取下的盖,盖上有梯形螺纹,可避免滑丝。过滤室可容纳所有的10英寸单开口端过滤元件。222 O形圈泵/过滤器总成可方便地从处理罐中取出,泵总成可快速与过滤室分离,方便维护,缩短停机时间。

小型深潜泵

Kinetics提供定制设计的泵电动机可以紧凑的尺寸提供最高的马力。有三种泵电动机可选(1/8马力、1/3马力和1/2马力)。所有电机均标配有高级环氧树脂涂层,可抗酸雾和泼溅。