系统概述
Kinetics公司的SB 200浆料混合和分配系统用于为先进半导体工艺业提供最高质量的化学机械浆料。Kinetic久经验证的基于重量的混合技术可按照各种混合比、在各种化学条件下达到非常精确的混合规格。保质期限较短的混合浆料应使用一对串联的混合罐/分配罐，以确保供给至化学机械抛光工艺工具的浆料始终新鲜有效。在浆料混合模块中，去离子水、浓缩浆料和化学成分（分配自独立的分配装置）载入位于精确负荷传感器上的一个混合罐中。使用粗灌充和细灌充方法两种方法实现最高的浆料混合组成率。在使用各种计量包进行混合批次验证后，使用隔膜或磁悬浮离心泵将混合浆料直接分配到工厂。浆料分配模块以高精度的沉淀、剪力敏感性、发泡和化学稳定性传输混合后的物质。
控制装置
- Allen-Bradley公司的SLC 500或西门子公司的S7系列PLC
- Allen-Bradley公司的Panelview 550或西门子公司的TP177B 触摸屏，可显示：
- 系统P&ID状态
- 报警和警告界面
- 分配阀箱状态
- 混合配料和校准界面（有密码保护）
- 系统冲洗顺序界面，有密码保护
- 泵和过滤器运行界面
- 有密码保护的维护界面
- 可连接到工厂控制系统
选配件
-
第二种混合化学成分
-
第3冗余泵，为故障备用泵
-
多种浆料计量包（pH、电导率、密度、折射率和滴定度）
-
用于浆料分配的磁悬浮离心泵
-
分配过滤器
-
分布回路背压控制
-
自动过滤器冲洗——吹扫操作
-
混合罐和日用罐的搅拌器（电动和气动）
-
样品站
主要功能
-
基于重量的混合技术
-
一对混合罐/分配罐；多种尺寸可供选择
-
膜式泵/分配泵
-
化学品混合精度最高可达0.005重量百分数，绝对误差
-
去离子水、浆料和1种化学品的混合
-
20升/分钟，标称分配率
-
用于源容器和日用罐覆盖的潮湿氮气
-
聚乙烯和聚丙烯结构材料
-
聚丙烯柜
-
混合罐和日用罐去离子水冲洗用的喷淋头
安全功能
-
隔开的泵间，用于在线维护
-
本地和远程EMO（紧急按钮）
-
柜泄露检测和门联锁
-
声音和视觉警告和报警
-
可选配排放和高流量传感器
工艺流程图
配置两个混合罐、冗余泵、分配过滤装置和浆料搅拌设备
可靠性
- MTBF＞4500小时¹
- MTBF＞2500小时¹/li>
- MTTR＜2小时
- 可用度＞99.9%
¹更换过滤器不属于系统停机时间或修理时间。