浆料运送

请访问www.megafluidsystems.com获取我们的全系列浆料运送设备。

Kinetics在为最关键的氧化物、钨、多晶硅、STI和铜化学机械抛光等关键工艺设计和高精度系统服务方面拥有丰富的经验。系统可用于分配预混浆料,或混合和分配难度极大的混合浆料。Kinetics浆料设备支持全球领先的微电子设备中最苛刻的化学机械抛光平面化工艺。

Delivery

Mega SD50™

Mega SD50系列浆料配送系统用于向Mega浆料混合和配送系统(SBD)供应生料浆。此分配系统用于维持两只原料箱/桶内的生料浆与SBD系统之间的流入和回流持续循环。

Mega SD100™

Mega SD 100系列从一只原料箱/桶(共两只)向SBD系统供应生料浆。当一只原料箱/桶内的生料浆耗尽,Mega SD 100系列从另一只原料箱/桶内提供补给。根据SBD系统的需求,系统通过生料浆供应循环向主机发送信号,实现原料箱/桶的再循环,直至满足需求。生料浆循环返回路线上设有多回转节流阀。该阀门可手动调节,用于维持生料浆适当的返回压力,使其流向混合系统,与子供应系统相互补充。

Filtration

Mega SF100™

Mega SF100系列系统包括三对20”滤杯/滤头组合,这些元件组合可以同时过滤单个或双个供应源的混合浆料并将其分配至两个球形循环;一对过滤器对应一个循环排料,第三对过滤器用于在更换滤芯时维持循环供应。

Mega SF200™

Mega SF 200系列系统包括位于同一过滤器组内的两个连续式20”滤杯/滤头组合。其中一个过滤器组处于活跃状态,另一个过滤器组备用。需要更换滤芯时,将备用过滤器组切换为在线状态并注入浆料,然后可以将原先在线的过滤器组转为离线模式。

Mega SF300™

Mega SF 300系列系统包括:位于同一过滤器组内的两个20”的滤杯/滤头组合、控制浆料流动的自动阀门、一套用于读取过滤器出入口压力的压力计。这两个过滤器元件可实现多种配置:连续、并行、连续和并行结合。