Kinetics GC 200

系统概述

Kinetics公司的GC 200气瓶柜是一种半自动式气体分配系统,为半导体和光伏制造业中安全分配有毒和危险气体提供了一种密闭排气罩设备。该系统适用于释放时可对人体或设备造成严重危害的腐蚀性、毒性及自燃性气体。气瓶更换过程中,该系统具有手动真空辅助氮气吹扫功能。一旦发生气体泄漏或其他紧急情况,冗余安全功能可使系统自动关闭。

控制装置

Kinetics GC 200半自动气瓶柜带有一个简单的PLC控制器,用于:

  • 内部硬件条件或外部EMO信号等在紧急情况下关闭气流
  • 对排气管道中的气体泄露做出反应
  • 当气瓶空了的时候亮起指示灯

选配件

  • 调节器内的镍基高温合金适用于腐蚀性气体
  • 无法调节氮气时,可使用氮气吹扫板
  • 同轴管路连接,适用于腐蚀性和自燃性气体
  • 颗粒过滤器,位于调节器之后,可去除粒径≥0.003μm的颗粒物
  • 气体净化器(配备集成过滤器),位于调节器后。去除污染物,如浓度<1ppb的水、二氧化碳、氧气和一氧化碳
  • 过量气流传感器和自动气瓶阀,增加其安全性
  • 气瓶秤,用于测定液化气的空气瓶
  • 加热器和冷却器组件,用于特定的液体工艺气体

主要功能

  • 自动气体关闭阀,用于紧急情况时
  • 压力表,位于调节器的高压侧和低压侧
  • 可容纳一、二或三个气瓶
  • 手动,在更换气瓶期间真空辅助吹扫
  • 过压时安全停机
  • 消防水洒水车

安全功能

所有的Kinetics气瓶柜均符合以下机构的准则:

  • OSHA(美国职业安全与健康管理局)、TGO、CE(欧盟)
  • 统一防火规范(UFC80)和美国消防协会(NFPA 318)
  • 保护机构(NFPA 318)
  • Semi(半导体设备材料产业协会)S2-0200
  • NRTL(国家认可实验室)名单

工艺流程图

配置双气瓶操作和真空辅助吹扫

可靠性¹

  • 可用度>99.999%
  • MTBF>8000小时
  • MTBF>6000小时
  • MTTR<2小时

¹可靠性值是典型性能指标之一。