手动湿式设备

基本信息

Kinetics的VLF前端接入手动湿式设备能够与100级及以上等级的洁净室兼容。开放的工艺区允许层流空气流过作业面,收集颗粒物和烟雾,并引导其通过排气口排出洁净室。开放底座可确保洁净室内的空气回流,并减少系统下方的颗粒物积聚。湿式处理站用于完全模块化,可在最大限度减少停机时间和降低费用的基础上灵活更改工艺。

功能

  • 湿式处理站达到了联邦认可的最重要标准。
  • 24英寸、36英寸、48英寸、72英寸和96英寸壳长
  • 聚丙烯或304不锈钢结构材料。
  • Semi S2 EPO(紧急断电)菌形开关和电路
  • Photohelic排放监控,设置声音/灯光报警,可与EPO联锁。
  • Plenum液面传感器,带有声音/灯光报警,可与EPO联锁。
  • 主要的氮气和压缩干燥空气压力联锁,带有声音/灯光报警,可与EPO联锁。
  • 氮气吹扫式头箱
  • 氮气吹扫式头箱
  • 透明聚氯乙烯滑动面罩
  • 铁氟龙氮气和去离子水枪
  • 聚丙烯流经去离子水歧管
  • 带有调平器的脚轮

可选功能

  • FM 4910批准的建筑材料
  • 后方接入工作台护罩
  • 专用排水管和/或酸瓶系统
  • 聚偏二氟乙烯或铁氟龙®去离子水歧管
  • 带触摸屏界面的PLC控制系统
  • FM认可的二氧化碳火灾探测和抑制系统
  • Semi、CE标志或其他NRTL第三方检查和认证。
  • 高效空气过滤器/超高效空气过滤

产品特色

  • 平台下方安装有处理罐,可提供360°全边缘排气。
  • 标准湿式处理站采用聚丙烯和/或304不锈钢制造,可消除应力。
  • 去离子水歧管可通过前检修门进入,所有电气组件均可通过向下摆动的铰接头箱板轻松接入。
  • 隔离电隔室,并用氮气吹扫以防止酸雾产生腐蚀