Aeris

产量是前提

当产量目标是关键时,大批量生产不可避免,而这正是Aeris的擅长之处。它的关键部件均可定制,是湿台处理站的全面补充设备,符合最新的SEMI(半导体设备材料产业协会)标准,代表着最先进的技术。

Kinetics公司提供手动、半自动和全自动湿台工作站,通风橱可使用各种高规格材料制作,包括FM认证的PVC-C(氯化聚氯乙烯)和不锈钢。

操作人员的安全和方便易用是Kinetics自动湿式处理站的中心理念。计划软件和自动传输系统可以为哪怕最脆弱的晶圆片提供最佳的控制和重复精度。所有批次均可通过识别码跟踪,内建基于Windows PC的控制器系统可自动下载工艺处理程序到CPU。

可对各工艺槽之间的晶圆流进行监控,高效的传输提高了产量,改进了生产周期管理。Aeris可为最复杂的系统增加速度,同时不影响精确清洗和湿式处理操作。Kinetics公司的内部烟道试验证实了Aeris产品线的性能,该系列的先进通风导流板和导流层能最大程度上减少空气中微粒的吸附。

半自动湿台系统使用经过生产验证的技术平台创建。Aeris使用一个PLC(可编程控制器)来控制生产的各个方面,包括工艺温度和升温功能,它还存储有多种处理程序,并具有多层密码保护。

对于Kinetics公司来说,监控是关键。因此,我们采用了彩色触摸屏来显示湿台在每个阶段和步骤时的参数,并具有报警功能。

即使是最基本的Aeris产品(非定制),在性能方面也明显超过现有的同类产品。再加上各种功能选项,新的、扩建或改造的工艺厂没有理由不考虑这种具有更佳大批量出产能力的湿台技术。

自动

留有余量的流程强调了安全性,在大批量出产时仍能符合严格的规范。持续的多变量控制,即使是高负荷时也能实现高产出。

半自动化

当两个或更多的处理槽处于工作状态时,Aeris将使用专门的线性传输系统,该系统可容纳单个或两个尺寸为200毫米的晶圆框架盒,或单个300毫米的晶圆框架盒。


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超越自我:Aeris半自动湿式工作台性能卓越优异

通过采用两个或多个处理槽专注于处理过程,Kinetics半自动湿台专为高产出和重复精度设计。其传输系统为前后或左右线性结构,单任务只是基础。以下十种功能选自三十多种标准和可选功能列表,可供新的或改造的工艺环境考虑选用。

  • 湿式处理站达到了联邦认可的最重要标准。
  • GE 9030系列PLC:
    • 全PID回路和安全联锁
    • 全传输控制功能,包括可调速度控制和多重定位
    • 多层密码保护(操作人员、工程人员、维护人员)
    • 可记录部分数据,并将数据发送到局域网
  • 线性传输系统
  • GE视频系统CE,带有10英寸的彩色触摸屏,和基于CE的软件
  • 24英寸、36英寸、48英寸、72英寸和96英寸壳长
  • 聚丙烯或304不锈钢结构材料
  • Semi S2 EPO(紧急断电)菌形开关和电路
  • Photohelic排放监控,设置声音/灯光报警,可与EPO联锁
  • Plenum液面传感器,带有声音/灯光报警,可与EPO联锁
  • 主要的氮气和压缩干燥空气压力联锁,带有声音/灯光报警,可与EPO联锁

如需完整信息(包括工程支持和定价),请联系Kinetics公司的工程支持团队:请单击此处