QUARZBEHÄLTER

Unsere MEGATHERM™-Linie von Hochtemperatur-Quarzbädern wurde für das Ablösen von Resists und das Ätzen von Siliziumnitrid entwickelt.

MEGATHERM™-UMWÄLZBAD

Das MEGATHERM™-Hochtemperatur-Quarz-Umwälzbad wird aus reinem Quarzglas für Umgebungen mit geringer Verschmutzung und Hochtemperaturanwendungen hergestellt.


Die Umwälzbäder arbeiten mit verschiedenen pneumatischen Membranpumpen zusammen. Das vierseitig kaskadierte Innenwehr mit gezahnter Kante, die TEFLON®-Membranpumpe, die TEFLON®-Filterkammer und die TEFLON®-Rohrleitungen tragen zu einer sicheren und sauberen Betriebsumgebung bei. Das Heizungsdesign wurde entwickelt, um eine effiziente Wärmeübertragung, ein schnelles Aufheizen des Bades, Haltbarkeit und Langlebigkeit zu gewährleisten. Die Durchflussraten hängen vom Tank, der Pumpengröße und der Filterporosität ab.

MEGATHERM™-Hotpot und –Nitridätzsystem

Der MEGATHERM™-Hochtemperatur-Quarz-Hotpot ist so konzipiert, dass er eine kontaminationsarme und partikelfreie Umgebung bietet. Das MEGATHERM™-Nitridätzverfahren wird zum selektiven Ätzen von Siliziumnitrid ohne gleichzeitiges Ätzen des Siliziumdioxids verwendet.

 

KINETICS verfügt über eine sehr genaue Kontrollmethode, indem das Nitrid-Ätzsystem mit einem exklusiven automatischen DI-Wasserinjektionssystem ausgestattet wird, das ein konstantes Siedeverhalten und eine konstante Säurekonzentration aufrechterhält. Dies wird erreicht, indem der DI-Magnet als logische Komponente der Heizung gesteuert wird. Wenn beispielsweise die Heizung ausgeschaltet wird, schaltet sich der Elektromagnet ein und umgekehrt. Das System ist außerdem mit einem Kondensationskopf aus Polypropylen mit TEFLON®-Wärmetauschern, einem Regler und einem Durchflussmesser ausgestattet.

Eigenschaften der Quarzbehälter

  • Geformter nahtloser Behälter: MEGATHERM™-Systeme sind mit einem nahtlos geformten Quarz-Innentank ausgestattet, der eine kontaminationsarme und partikelfreie Umgebung bietet.
  • Sekundäre Auffangvorrichtung: Der innere Quarzbehälter ist durch einen flammhemmenden Behälter aus Polypropylen mit einem exklusiven Flansch geschützt, der eine Labyrinthdichtung bietet, die die Heizkissen vor Säuredämpfen und Überlauf schützt.
  • Redundanter Übertemperaturschutz: Jeder MEGATHERM™ verfügt über indirekte Heizelemente für schnelles und zuverlässiges Heizen. Dies wird durch die Verwendung externer Flächenheizungen erreicht, die an der Außenseite des Quarzbehälters angebracht sind.
  • Die Quarztanks haben zwei redundante Sicherheitskreise, die direkt auf den Heizkissen platziert sind, ein Bimetall-Schnappschalter (automatische Rückstellschaltung) und ein Thermoelement vom Typ J (manuelle Rückstellschaltung).

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