SCADA & Steuerelemente

SPS-Steuerungen

Mega Fluid Systems bietet SPS- oder PAC-basierte Steuerungssysteme für die Steuerung und Automatisierung von Chemie- und Schlammmischungs- und Verteilungssystemen an. Bei der Auswahl des Steuerungssystems, das für das jeweilige Werkzeug sinnvoll ist, verwenden wir Rack- und/oder dezentrale E/A sowie interne und externe Vernetzung und Kommunikation zur Steuerung und Überwachung der wichtigsten Geräte des Werkzeugs – Pumpen, Ventile, Tanks, Messtechnik (pH-Wert, SGU, Konzentration) Partikelgröße, Titration und Temperatur).

  • Mit demselben Software-Tool wie das System-HMI erstellt
  • Remote-Option mit VNC
  • Onlinekunden-Optionen
  • Paging-/E-Mail-Optionen
  • Erhöhte Funktionalität und Flexibilität

MegaView™

Die Engineering-Gruppe von Mega Fluid Systems Controls liefert schlüsselfertige Steuerungs-, Überwachungs- und Automatisierungslösungen für molekulare Abgabe-Tools. Unser Team von Steuerungs- und Elektrotechnikern verfügt über umfangreiche Erfahrung in den folgenden Anwendungen:

  • Automatisierung von Systemen zum Mischen und Verteilen von Chemikalien und Schlamm
  • Entwerfen intuitiver HMI- und SCADA-Anwendungen
  • Bereitstellung von Plug-and-Play-Netzwerkverbindungslösungen und
  • Bereitstellung von Alarm-, Grafik- und Diagrammdiensten sowie Berichtsdiensten.

Unter Verwendung modernster Visualisierungssoftware erstellt unser Team grafische Benutzeroberflächen, die dem Benutzer die benötigten Informationen zum gewünschten Zeitpunkt anzeigen – Informationen, die reichhaltig sind, wenn die Anwendung dies erfordert, und dabei stets klar und intuitiv. Systemübersichten, Drilldowns zu P&ID-basierten Details, Sollwert- und Rezeptursteuerung, Alarmüberwachung und -quittierung sowie spezielle benutzerdefinierte Funktionen, die nach intensiver Zusammenarbeit mit den Systembenutzern implementiert wurden, sind Teil der HMI-Erfahrung von Mega Fluid Systems.

MegaSafe™

MegaSafe™ ist eine Steuerungssoftware, die entwickelt wurde, um im Falle eines Ausfalls einer speicherprogrammierbaren Steuerung (SPS) die Dispensierung von chemisch-mechanischen Planarisierungs- (CMP) und Reinigungswerkzeugen am Einsatzort zu gewährleisten. Durch Verfolgung des Werkzeugstatus beim Herunterfahren, Ermöglichen eines nahtlosen SPS-Austauschs und Erhalt qualifizierter Schlammchargen verhindert MegaSafe Betriebsstörungen und senkt die Gesamtfertigungskosten.

SPS-Ausfälle führen zum sofortigen Herunterfahren des Verteilungssystems und erfordern die Entsorgung teilweise bearbeiteter Wafer. Wenn MegaSafe in die Hardwaresteuerung eines Mega-Chemikalien- oder Schlammabgabesystems integriert ist, wird der Systembetrieb auf den Stand zurückgesetzt, der zum Zeitpunkt des Ausfalls ausgeführt wurde, und es erfolgt eine „nahtlose Übertragung“ auf den Systembetrieb. Infolgedessen wird die Neustartzeit verkürzt und die Beschädigung des Wafers durch gestoppten Chemikalienfluss verringert.

MegaSafe wurde speziell für die Produkte von Mega Fluid Systems entwickelt und ist mit den Ethernet-basierten SBD 100-Systemen von Mega Fluid System sowie mit Ethernet-basierten System-Upgrades kompatibel.

MegaLink 2

Das MegaLink 2 ist ein System, das eine Schnittstelle für Status- und Anforderungs-Handshakesignale zwischen CDUs (Chemical Dispense Units) und POU-Tools (Multiple Point-of-Use) bereitstellt. Das System bietet eine Status- und Ventilsteuerungsschnittstelle zwischen Mega-Dosierwerkzeugen und Ventilverteilerboxen (Valve Manifold Boxes, VMBs), die die POE-Prozessausrüstung über eine erweiterte Ethernet-Kommunikation versorgen. Das System ist so konzipiert, dass es die Kontrolle und Automatisierung der Chemikalienabgabe im Werk übernimmt und bis zu 8 Remote-Einheiten pro Wirt unterstützt.

Im hoch konfigurierbaren MegaLink 2 laufen Chemikalien oder Schlamm von der CDU durch den VMB und kehren über eine globale Schleife zur CDU zurück. Ein Signal wird an den Wirt gesendet, wenn Chemikalien oder Schlamm in der CDU verfügbar sind. Wenn der Baustein für Chemikalien oder Schlamm bereit ist, sendet er ein Anforderungssignal an den Wirt. Wenn kein Alarm vorliegt, wird ein Signal an den VMB gesendet, um ein automatisches Einhebelventil zu öffnen, damit Chemikalien oder Schlamm zum POE-Einlass fließen können.

Standards und Funktionen:

  • Vollständig konfigurierbare E/A wie Sicherheitsverriegelungen und Ventile
  • Kann VMBs von Multisource Delivery-Lösungen aus steuern
  • Hardware- oder Software-Handshake-Signalschnittstelle
  • Touchscreen-Monitor im Lieferumfang des Wirts enthalten
  • Der Wirt steuert bis zu 8 Fernbedienungseinheiten
  • Mehrere E/A-Konfigurationsgrößen für große oder kleine Werke
  • Unterstützt bis zu 128 verschiedene globale Schleifen und zugehörige CDUs und POUs
  • Unterstützt bis zu 128 VMBs mit maximal 12 vollständig konfigurierbaren Sticks oder 128 manuell gesteuerten TVBs
  • Redundante Gleichstromversorgung
  •  Unterstützt bis zu 32 CSS-Punkte

Optionen:

  • Redundante Kommunikation
  • Redundante Wechselstromversorgung
  • Redundante PLCs