Der Kinetics GC 200

Systemüberblick

Der Gasschrank Kinetics GC 200 ist ein halbautomatisches Gasabgabesystem, das eine eingeschlossene Umgebung für die sichere Abgabe giftiger und gefährlicher Gase bietet, wie sie in der Halbleiter- und Photovoltaikfertigung verwendet werden. Das System ist für ätzende, giftige und pyrophore Gase vorgesehen, deren Freisetzung eine ernsthafte Gefahr für Menschen und Geräte darstellen würde. Das System verwendet eine manuelle vakuumunterstützte N2-Spülung während des Flaschenwechsels. Redundante Sicherheitsfunktionen sorgen für eine automatische Systemabschaltung bei Gaslecks oder anderen Notfällen.

Kontrollen

Der halbautomatische Gasschrank Kinetics GC 200 verfügt über eine einfache SPS-Steuerung, die folgende Aufgaben erfüllt:

  • Unterbrechen des Gasflusses unter Notfallbedingungen, einschließlich internen Hardware-Bedingungen oder einem externen EMO-Signal
  • Reagieren auf ein Gasleck in der Abgasleitung
  • Anzeigen, wenn eine Gasflasche leer ist

Optionen

  • Hastelloy-Material im Regler für korrosive Gase
  • Stickstoff-Spülpanel, wenn geregeltes N2 nicht verfügbar ist
  • Koaxialer Schlauchanschluss für korrosive und pyrophore Gase
  • Der nach dem Regler befindliche Partikelfilter entfernt Partikel ≥ 0,003 μm
  • Gasreiniger (mit integriertem Filter), der sich hinter dem Regler befindet. Entfernt Verunreinigungen wie H2O, CO2, O2 und CO bis < 1 ppb
  • Sensoren für Gasüberschuss und automatisierte Flaschenventile sorgen für zusätzliche Sicherheit
  • Flaschenwaage zur Bestimmung einer leeren Flasche für Flüssiggase
  • Heiz- und Kühlaggregate für bestimmte flüssige Prozessgase

Wichtige Funktionen

  • Automatisches Gasabsperrventil für Notfälle
  • Manometer auf der oberen und unteren Seite des Reglers
  • Platz für eine, zwei oder drei Gasflaschen
  • Manuelles, vakuumunterstütztes Spülen beim Flaschenwechsel
  • Sicherheitsabschaltung bei Überdruckn
  • Wassersprinkler für den Brandschutz

Sicherheitsvorrichtungen

Alle Kinetics-Gasschränke erfüllen die geltenden Richtlinien der folgenden Institutionen:

  • OSHA, TGO, CE
  • Uniform Fire Code (UFC80) und National Fire
  • Protection Agency (NFPA 318)
  • Semi S2-0200
  • NRTL-Liste

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit Zweiflaschenbetrieb und vakuumunterstützter Spülung

Zuverlässigkeit¹

  • Verfügbarkeit > 99,999 %
  • MTBF > 8000 Stunden
  • MTBA > 6000 Stunden
  • MTTR < 2 Stunden

¹Die Zuverlässigkeitswerte repräsentieren die typische Leistung.