Das Kinetics CD 200

Systemüberblick

Das Chemikaliendosiersystem Kinetics CD 200 ermöglicht die sichere, reine und zuverlässige Verteilung von Prozesschemikalien an kritische Halbleiter- und Photovoltaik-Prozessmodule. Das System verfügt über zwei unabhängige Pumpmodule für betriebsbedingte Redundanz. Das primäre Pumpmodul verteilt die Chemikalien an das Werk und sorgt für eine kontinuierliche Filtration und Rückführung, um sehr niedrige Partikelwerte aufrechtzuerhalten. Das sekundäre Modul wird für den Betrieb von Quellcontainern verwendet, z. B. zum Übertragen von Chemikalien in den Tagestank und zur Rückführung zur Quelle. Das sekundäre Pumpenmodul kann auch als Reserve für die Abgabe von Chemikalien an das Werk während der Wartung des primären Moduls verwendet werden. Das CD 200-System bietet die Präzision und Robustheit, die für sensible Prozessabläufe erforderlich ist.

Controls

  • Allen-Bradley SLC 500 oder Siemens SPS der S7-Serie
  • Allen-Bradley Panelview 550 oder Siemens TP177B
  • HMI, mit folgenden Eigenschaften:
    • P&ID Systemstatus
    • Alarm- und Warnbildschirme
    • Verteilerkastenstatus
    • Pumpen- und Filterlaufzeitbildschirme
    • Passwortgeschützte Wartungsbildschirme
    • Manuelle Ansteuerung von Ventilen und Pumpen
  • Anbindung an die Werkssteuerung

Optionen

  • Schränke für Quellfässer und Tagestank (bis zu 500 l)
  • Werkweite Umwälzung
  • Bis zu 3 chemische Auslassventile
  • Automatisierte Wartungsdienste
  • Pumpenhubzähler und Lecksuche
  • Optionale Kreiselpumpen für Anwendungen mit hohem Durchfluss
  • Barcode-Reader
  • Edelstahlgehäuse für Lösungsmittel
  • Druck- und Durchflussanzeige am Pumpenausgang
  • High-Flow-Schalter zum Herunterfahren des Systems
  • HEPA-Filtermodul für Fassschränke, Tagestankschränke und Probenstation
  • Kostengünstige Polyethylenkomponenten für unkritische Prozesse

Wichtige Funktionen

  • Zwei unabhängige Pumpmodule
  • Durchflussraten von 15, 30 und 50 Litern pro Minute
  • Membranpumpen mit Pulsationsdämpfern
  • Tagestank für Pufferspeicherkapazität
  • Redundante Chemikalienfiltergehäuse (10″ oder 20″)
  • Zwei Kreisläufe zum chemischen Umwälzen und Polieren
  • Verwendung integrierter Ventilkörper für geringeren Platzbedarf und weniger Leckstellen
  • DI/N2-Wartungsservice für Pumpen und Filter
  • DIW-Waschpistole

Sicherheitsvorrichtungen

  • Getrennte elektrische und chemische Kompartimente
  • Lokales und fernbedientes EMO
  • Schranklecksuche und Türverriegelungen
  • Akustische und optische Warnungen und Alarme
  • Optionen für Abgas- und Durchflusssensoren
  • Optionale Schränke für Fässer, IBCs und Tagestanks

Prozess-Flussdiagramme

Konfiguration mit redundanten Pumpmodulen

Reliability

  • MTBF > 6000 Stunden
  • MTBA > 4500 Stunden
  • MTTR < 2 Stunden
  • Verfügbarkeit > 99.95%