Chemikalienabgabe

Die chemischen Abgabesysteme Kinetics CD 100 und CD 200 erfüllen eine Vielzahl von Prozessanforderungen für mikroelektronische, solare und andere Präzisionsfertigungsanwendungen. Unsere bewährten Konstruktionskonzepte, sorgfältig ausgewählten Komponenten und zuverlässige Software machen die Kinetics-Massenchemikalienausrüstung zu den besten der Welt.

Das Kinetics CD 100

Das Kinetics CD 100-Chemikaliendosiersystem ist ein einfaches, kostengünstiges Chemikalienübertragungs- oder -spendesystem. Das System ist sehr konfigurierbar, um die spezifischen Durchfluss- und Reinheitsgrade zu erzielen, die Ihren Tool- und Prozessanforderungen entsprechen

Das Kinetics CD 200

Das Chemikaliendosiersystem Kinetics CD 200 ermöglicht die sichere, reine und zuverlässige Verteilung von Prozesschemikalien an kritische Halbleiter- und Photovoltaik-Prozessmodule. Das System verfügt über vollständig redundante Pumpmodule und verschiedene Arten der chemischen Rückführung und Filtration, um saure, ätzende und lösungsmittelhaltige Chemikalien mit dem höchstmöglichen Reinheitsgrad abzugeben. Das CD 200-System bietet ein Höchstmaß an Präzision und Robustheit, die für sensible Prozessabläufe erforderlich sind.