MEGATHERM Hotpot und Nitrid-Ätzsystem

Allgemeine Informationen

Der Kinetics MEGATHERM™-Hochtemperatur-Quarz-Hotpot wird aus reinem Quarzglas für Umgebungen mit geringer Verschmutzung und Hochtemperaturanwendungen hergestellt, wobei drei wichtige Aspekte berücksichtigt werden: Sicherheit, Zuverlässigkeit und sauberer Betrieb. Das MEGATHERM-Nitridätzsystem wird zum selektiven Ätzen von Siliziumnitrid ohne gleichzeitigem Ätzen des Siliziumdioxids verwendet. Kinetics verfügt über eine sehr genaue Kontrollmethode, indem das Nitrid-Ätzsystem mit einem exklusiven automatischen DI-Wasserinjektionssystem ausgestattet wird, das ein konstantes Siedeverhalten und eine konstante Säurekonzentration aufrechterhält. Dies wird erreicht, indem der DI-Magnet als logische Komponente der Heizung gesteuert wird. Wenn beispielsweise die Heizung ausgeschaltet wird, schaltet sich der Elektromagnet ein und umgekehrt. Das System ist außerdem mit einem Kondensationskopf aus Polypropylen mit TEFLON®-Wärmetauschern, einem Regler und einem Durchflussmesser ausgestattet.

BESONDERHEITEN

Geformter nahtloser Behälter

MEGATHERM-Systeme sind mit einem nahtlos geformten Quarz-Innentank ausgestattet, der eine kontaminationsarme und partikelfreie Umgebung bietet.

Sekundäre Auffangvorrichtung

Der innere Quarzbehälter ist durch einen flammhemmenden Behälter aus Polypropylen mit einem exklusiven Flansch geschützt, der eine Labyrinthdichtung bietet, die die Heizkissen vor Säuredämpfen und Überlauf schützt.

Redundante Übertemperatursicherheit

Jeder MEGATHERM verfügt über indirekte Heizelemente für schnelles und zuverlässiges Heizen. Dies wird durch die Verwendung externer Flächenheizungen erreicht, die an der Außenseite des Quarzbehälters angebracht sind. Die Quarztanks haben zwei redundante Sicherheitskreise, die direkt auf den Heizkissen platziert sind. Der erste ist ein Bimetall-Schnappschalter und der zweite ist ein Thermoelement vom Typ J. Der Bimetallschalter ist eine automatische Rückstellschaltung, und das Thermoelement vom Typ J ist eine manuelle Rückstellschaltung.

Weitere Funktionen

  • N2 Füllstandsensor mit Gegendruckschalter, Regler und Durchflussmesser.
  • Entwässern oder keine Ablaufoption
  • Elektrischer Anschluss: 120/208/240 VAC, einphasig oder dreiphasig, 50/60 Hz.
  • 10: 1 TEFLON®-Verdünnungsablassventil als Option